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膜厚測試儀,分為手持式和臺式二種,手持式又有磁感應鍍層測厚儀,電渦流鍍層測厚儀,熒光X射線儀鍍層測厚儀。
日本三高SANKO膜厚計可分為電磁式、渦電流式
如何選擇合適的膜厚計
1)從上面的分類表中選擇測量方法。
2)根據(jù)測量范圍,精度,探頭型號,測量目標等選擇儀器類型。
原理
電磁感應式鐵芯
將鐵靠近線圈末端時,線圈的電感會隨著距離的微小變化而變化。此更改用于測量薄膜厚度。
渦電流型
利用高頻電場在金屬表面感應出的渦電流的大小與膜厚之間的電關系,測量鐵以外的金屬基板上的絕緣膜的厚度。
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