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實驗儀是一個真空實驗平臺,能夠很直觀反映真空獲得的,過程。由真空獲得部分、真空鍍膜和電控及儀表等部分組成,結構合理,運行,,,適合于對學生開展真空實驗教學。
1、真空的獲得與測量;
2、蒸發(fā)法薄膜制備;
主要,特點:
1 設備的真空反應室、油擴散泵、真空管路部件,透明;
2 電氣控制有,%護,%止誤操作對操作人員和設備造成的損傷;
3 管路采用不銹鋼、真空橡膠管結合,閥門為電控雙向截止閥,真空室內有烘烤除氣設備;
4 一機多用的功能,針對高校開展綜合性、設計性和開放性實驗的要求,預留有大空間的真空室,在配置一些組件后,就能方便開設其他擴展實驗項目。
主要,參數(shù):
1、φ230mm×255mm硬質玻璃真空室;
2、采用機械泵、四,玻璃質油擴散泵兩,真空系統(tǒng),擴散泵油量125~140ml,帶水冷;
3、真空度:開機60分鐘后可達6×10-3Pa,,限真空度:9.6×10-4Pa;恢復真空時間<40分鐘;
4、采用一對無氧銅電,蒸發(fā)電,,電,間距70mm,可選用鎢絲或鉬舟作蒸發(fā)源,蒸發(fā)電流調節(jié)范圍:0~150A;
5、襯底可加熱。襯底加熱溫度范圍:室溫~200℃;
6、工作電壓:AC220V±5%,50Hz,整機功率3.5KW;
7、工作環(huán)境要求:溫度低于30℃,濕度≤70%;冷卻水溫度22℃±3℃,水循環(huán)用戶自備。
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