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ITO基礎(chǔ)知識(shí)講解

來(lái)源:深圳市芯云顯控技術(shù)有限公司   2021年10月26日 16:47  



液晶顯示器現(xiàn)已成為技術(shù)密集,資金密集型*產(chǎn)業(yè),透明導(dǎo)電玻璃則是LCD的三大主要材料之一。液晶顯示器之所以能顯示特定的圖形,就是利用導(dǎo)電玻璃上的透明導(dǎo)電電膜,經(jīng)蝕刻制成特定形狀的電極,上下導(dǎo)電玻璃制成液晶盒后,在這些電極上加適當(dāng)電壓信號(hào),使具有偶極矩的液晶分子在電場(chǎng)作用下特定的方面排列,僅而顯示出與電極波長(zhǎng)相對(duì)應(yīng)的圖形。


在氧化物導(dǎo)電膜中,以摻Sn的In2O3(ITO)膜的透過(guò)率最高和導(dǎo)電性能最好,而且容易在酸液中蝕刻出微細(xì)的圖形。其透過(guò)率已達(dá)90%以上,ITO中其透過(guò)率和阻值分別由In2O3與Sn2O3之比例來(lái)控制,通常SnO2:In2O3=1:9。


ITO是一種N型氧化物半導(dǎo)體-氧化銦錫,ITO薄膜即銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜,通常有兩回事個(gè)主要的性能指針:電阻率和光透過(guò)率。


目前ITO膜層之電阻率一般在5*10-4左右,最好可達(dá)5*10-5,已接近金屬的電阻率,在實(shí)際應(yīng)用時(shí),常以方塊電阻來(lái)表征ITO的導(dǎo)電性能,其透過(guò)率則可達(dá)90%以上,ITO膜之透過(guò)率和阻值分別由In2O3與Sn2O3之比例控制,增加氧化錮比例則可提高ITO之透過(guò)率,通常Sn2O3: In2O3=1:9,因?yàn)檠趸a之厚度超過(guò)200?時(shí),通常透明度已不夠好---雖然導(dǎo)電性能很好。


如用是電流平行流經(jīng)ITO脫層的情形,其中d為膜厚,I為電流,L1為在電流方向上膜厚層長(zhǎng)度,L2為在垂直于電流方向上的膜層長(zhǎng)主,當(dāng)電流流過(guò)方形導(dǎo)電膜時(shí),該層電阻R=PL1/dL2式中P為導(dǎo)電膜 之電阻率,對(duì)于給定膜層,P和d可視為定值,P/d,當(dāng)L1=L2時(shí),怒火正方形膜層,無(wú)論方塊大小如何,其電阻均為定值P/d,此即方塊電阻定義: R□=P/d,式中R□單位為:奧姆/□(Ω/□),由此可所出方塊電阻與IOT膜層電阻率P和ITO膜厚d有關(guān)且ITO膜阻值越低,膜厚越大。


目前在高檔STN液晶顯示屏中所用ITO玻璃,其R□可達(dá)10Ω/□左右,膜厚為100-200um,而一般低檔TN產(chǎn)品的ITO玻璃R□為100-300Ω/□,膜厚為20-30um。


在進(jìn)行LCD走線設(shè)計(jì)時(shí),由ITO阻計(jì)算方式,可知影響ITO阻值有如下因素:


1、ITO玻璃之方塊電阻


要確保走線電阻小,應(yīng)酬讓ITO玻璃方塊電阻小,因?yàn)镽□=P/d,則必須選P小,d適當(dāng)大些的材料。


2、L1/L2


L1/L2即走線在平行電流方向與垂直電流方向上的長(zhǎng)度比,在R□一定時(shí),要保證走線電阻值小,就要讓L1/L2小,當(dāng)L1一定時(shí),只有增大L2,也說(shuō)法是在設(shè)計(jì)時(shí),走線應(yīng)盡可能加寬;而當(dāng)L2一定時(shí),L1就要小,即走線寬度一定時(shí),細(xì)線應(yīng)盡可能短。


3、在LCD顯示屏設(shè)計(jì)當(dāng)中,不僅要考慮走線布對(duì)ITO阻值的影響,還要考慮生產(chǎn)工藝對(duì)ITO阻值的影響,以便選擇適當(dāng)方塊電阻的ITO玻璃,以便設(shè)計(jì)到制作的全面控制,生產(chǎn)高對(duì)比的LCD產(chǎn)品,這時(shí)高占空比及COG產(chǎn)品無(wú)為重要,如ITO膜厚的均勻性,因?yàn)镮TO的耙材及工藝的為穩(wěn)定,會(huì)使同樣長(zhǎng)度與寬度的ITO阻值發(fā)生變化,如目標(biāo)值為10Ω時(shí),其R□范圍在8-12Ω之間,所以在生產(chǎn)中要使用ITO膜厚均勻的導(dǎo)電玻璃,以減少電阻的變化,其次為ITO玻璃的耐高溫時(shí)性,酸堿性,因?yàn)橥ǔCD生產(chǎn)工藝中要使用高溫烘烤及各種酸堿液的浸泡,而一般在300°C *30min的環(huán)境中,會(huì)使R□增大2-3倍,而在10wt%NaOH*5min及6wt%HCL*2min(60°C)下也會(huì)增到1。1倍左右,由此可知,在生產(chǎn)工藝中不宜采用高溫生產(chǎn)及酸堿的長(zhǎng)時(shí)清洗,若無(wú)法避免,則應(yīng)盡量在低溫下進(jìn)行并盡量縮短動(dòng)作時(shí)間。


4、由于在液晶顯示器中,ITO方塊電阻等效于電路圖中的分壓電阻,其阻值大小直接影響電路兩端電壓的大小,即方塊電阻越大,LCD值電壓越大。有數(shù)據(jù)表明,ITO之方塊電阻由100Ω/□降至60Ω/□。(Cell Gap為6um)左右,Vth值會(huì)降低0。03V左右。


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