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SJ6000激光干涉儀如何測量平行度

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2021年04月06日 11:28  

SJ6000激光干涉儀平行度測量是在直線度測量的基礎(chǔ)上而擴展的應(yīng)用。

平行度測量原理

平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成,參見下面平行度測量光路原理構(gòu)件圖,其中直線度反射鏡作為共同的參考基準,在測量過程中保持原位,且不進行調(diào)整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2,即可得出平行度=θ1-θ2。

平行度測量配置

平行度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組(或長直線度鏡組)、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測量需增添可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡。

平行度測量應(yīng)用

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