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P76.Z50S/KA為小體積大負(fù)載Z軸壓電物鏡定位器，高度尺寸僅為37.5mm，負(fù)載能力可達(dá)500g，Z軸可實(shí)現(xiàn)50μm的直線運(yùn)動(dòng)范圍，采用柔性鉸鏈設(shè)計(jì)機(jī)構(gòu)，無(wú)摩擦，直線性好，閉環(huán)版本定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計(jì)，可適配多種型號(hào)的顯微鏡，是顯微成像、晶圓切割等應(yīng)用的理想選擇。

特性

• 行程可達(dá)50μm

• 承載能力500g

• 毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

• 聚焦穩(wěn)定性好

大負(fù)載 高頻響 高分辨率

P76.Z50S/KA是為了實(shí)現(xiàn)大負(fù)載、大孔徑物鏡在現(xiàn)代高分辨率顯微應(yīng)用中達(dá)到超快的階躍時(shí)間而專門設(shè)計(jì)。堅(jiān)固的設(shè)計(jì)使其即使帶載幾百克的物鏡也可以實(shí)現(xiàn)非?？斓姆€(wěn)定時(shí)間及掃描頻率。多個(gè)壓電驅(qū)動(dòng)器的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使它具有較高的剛度，同時(shí)保證了優(yōu)異的導(dǎo)向精度和動(dòng)態(tài)性。負(fù)載能力達(dá)500g，可兼容多光子顯微和共聚焦顯微應(yīng)用中常用的大視場(chǎng)物鏡，也可匹配蔡司、奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。

閉環(huán)階躍時(shí)間

P76.Z50S/KA壓電物鏡定位器帶載500g，滿行程階躍時(shí)間約20ms。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：P76.Z50S/KA

運(yùn)動(dòng)自由度：Z

行程范圍（0~120V）：40μm

行程范圍（0~150V）：50μm

閉環(huán)傳感器類型：SGS

閉/開環(huán)分辨率：5/2.5nm

閉環(huán)線性度：0.05%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.02%F.S.

推/拉力：35/10N

運(yùn)動(dòng)方向剛度：0.8N/μm

空載諧振頻率：800Hz

閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間：5/2ms

承載能力：0.5kg

靜電容量：3.2μF

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：510g