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電子級磷酸屬于高純磷酸，廣泛用于大規(guī)模集成電路、薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)等微電子工 業(yè)，主要用于芯片的清洗和蝕刻，其純度和潔凈度對電子元器件的成品率、電性能及可靠性 有很大影響，純度較低的主要用于液晶面板部件的清洗(面板級)，純度高的用于電子晶片 生產(chǎn)過程的清洗和濁刻(稱為IC 級)。電子級磷酸還可用于制備高純磷酸鹽，也是高純有機 磷產(chǎn)品的主要原料，另外還可用作超高純試劑和光纖玻璃原料等。

產(chǎn)業(yè)鏈 制作工藝 電子級磷酸可由元素磷或磷的氧化物經(jīng)化學(xué)反應(yīng)得到，也可由成品磷酸凈化精制而得，制備 的關(guān)鍵在于控制并達(dá)到所要求的堿金屬與重金屬雜質(zhì)離子的含量和顆粒度。

目前有如下幾種主要制備工藝:

1)用高純磷制備電子級磷酸;

2)用高純?nèi)齃Vhualin制備電子 級磷酸;

3)用三氯氧磷制備電子級磷酸。

提純工藝主要有:

1)磷酸的凈化精制法;

2)有機溶劑萃取法;

3)冷凍結(jié)晶法;熔融結(jié) 晶法;

4)其他凈化法其他的凈化方法有電滲析:電滲析法;膜分離。

E-Scan系列電子級磷酸濃度分析儀采用臨界角檢測原理，檢測不受物料的顏色，渾濁度，氣泡，固體顆粒等雜質(zhì)的影響、具備高精度的自動溫度補償功能。采用優(yōu)秀的分體式體式，全屏蔽抗干擾設(shè)計，光電信號直接轉(zhuǎn)換處理。摒棄一體式不耐振動和高溫的影響的缺點，保障了在線測量的精度及延長儀器使用壽命。內(nèi)置光纖光路傳導(dǎo)系統(tǒng)，擁有優(yōu)秀的抗震性能和高穩(wěn)定性、內(nèi)置溫度傳感器和干燥劑有效監(jiān)測糖度儀的運行狀態(tài)。

E-Scan系列電子級磷酸濃度分析儀可以安裝在不同管徑的管道或者罐體容器壁上，進(jìn)行濃度監(jiān)測和控制，可以直接顯示質(zhì)量*（Percent)、固形物含量(S.G.)、密度(T.T.A)或用戶自定義的單位，現(xiàn)場顯示并可以模擬信號（RS232)遠(yuǎn)傳至電腦進(jìn)行即時數(shù)據(jù)存儲、打印、追溯等功能；通過4-20mA信號遠(yuǎn)傳至PLC/DCS /變頻器進(jìn)行監(jiān)控或控制。

E-Scan系列電子級磷酸濃度分析儀擁有以下特征： PTFE材質(zhì)的傳感器使其滿足化工、半導(dǎo)體行業(yè)的要求并且耐溫高達(dá)150℃； 免維護(hù)、無耗材、無漂移、自診斷功能，智能報警信號輸出功能； 防護(hù)等級：NEMA4X(IP67）； 自動溫度補償（軟件擁有豐富的產(chǎn)品線性數(shù)據(jù)庫和溫度補償數(shù)據(jù)庫）； 多組4-20mA模擬信號及數(shù)字信號輸出（隔離，非隔離可選）； 3648高分辨率的CCD； 多種報警信息輸出顯示（高低/高高/低低/偏差）； 可循環(huán)的干燥劑，無耗材，免維護(hù)； 光源為589 nml LED燈，壽命長達(dá)100000小時； 安裝適配器標(biāo)準(zhǔn):PTFE,Teflon； 高精度，高品質(zhì)、“美國制造”。