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英文名：Sulfuric Acid，分子式：H₂SO₄，硫的重要的含氧酸，無水硫酸為無色油狀液體，10.36℃時結晶，沸點338℃，相對密度為1.84。硫酸是一種活潑的二元無機強酸，能和絕大多數金屬發(fā)生反應。高濃度的硫酸有強烈吸水性，可用作脫水劑，碳化木材、紙張、棉麻織物及生物皮肉等含碳水化合物的物質。與水混合時，亦會放出大量熱能。其具有強烈的腐蝕性和氧化性，故需謹慎使用。

*，電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純試劑，是一種微電子技術發(fā)展過程中*的關鍵基礎化學試劑。目前廣泛應用于大規(guī)模集成電路(IC)、半導體等微電子工業(yè)，用作清洗和蝕刻劑.隨著中國微電子工業(yè)的高速發(fā)展，電子級硫酸的需求量日益增加，供不應求，電子級硫酸有著良好的應用前景.

電子級硫酸主要應用于電子硅晶片生產過程的清洗和蝕刻。

硅圓片在加工過程中，常常會被不同的雜質所沾污，可引起大規(guī)模集成電路產率下降50%左右。硅圓片上不溶性固體顆?；蚪饘匐x子可能在微細電路之間導電，使之短路，幾個金屬離子或灰塵足以使線寬較小的大規(guī)模集成電路報廢。