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典型應(yīng)用
• 三維成像
• 干涉/計(jì)量
• 表面結(jié)構(gòu)分析
• 共焦顯微
高穩(wěn)定性、長(zhǎng)使用壽命
P73.Z200壓電物鏡定位器體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊、性價(jià)比高,可以與市面上很多規(guī)格型號(hào)的顯微物鏡配套。物鏡定位器內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,與優(yōu)異的機(jī)械結(jié)構(gòu)相結(jié)合,具有穩(wěn)定性好、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。
應(yīng)用分析實(shí)例
技術(shù)參數(shù)
型號(hào):P73.Z200
運(yùn)動(dòng)自由度:Z
行程范圍(0~120V):160μm
行程范圍(0~150V):200μm
閉環(huán)傳感器類型:SGS
閉/開環(huán)分辨率:11/5nm
閉環(huán)線性度:0.1%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.05%F.S.
推/拉力:80/10N
運(yùn)動(dòng)方向剛度:0.25N/μm
空載諧振頻率:210Hz
閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間:20/10ms
承載能力:0.2kg
靜電容量:7.2μF
材質(zhì):鋼、鋁
重量:360g
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