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伯東 KRI 考夫曼射頻離子源在 PCB 鉆頭銑刀上的應(yīng)用

來源：上海伯東企業(yè)有限公司 2020年11月13日 13:34

電子工業(yè)的飛速發(fā)展對線路板制造業(yè)的要求越來越高, 線路板層數(shù)越來越高, 孔密越來越大并向微孔化不斷發(fā)展, 某國內(nèi)制造商為了銑刀進行銑邊及成型加工時, 減少產(chǎn)品的披鋒、毛刺及銑刀斷刀, 采用伯東 KRI 考夫曼聚焦型射頻離子源 RFICP380輔助鉆頭銑刀上鍍膜.

該制造商的真空離子鍍膜技術(shù), 利用 KRI 考夫曼聚焦型射頻離子源 RFICP380 轟擊靶材形成離子, 并使離子在強磁場的驅(qū)動下吸附于鉆頭或鑼刀上形成鍍層, 制備出鍍膜鉆頭及鍍膜銑刀.

用于濺射的 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):

射頻離子源型號	RFICP380
Discharge 陽極	射頻 RFICP
離子束流	>1500 mA
離子動能	100-1200 V
柵極直徑	30 cm Φ
離子束	聚焦
流量	15-50 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長度	39 cm
直徑	59 cm
中和器	LFN 2000

推薦理由：

聚焦型濺射離子源一方面可以增加束流密度, 提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染

運行結(jié)果:

結(jié)果表面, 采用鍍膜鉆頭, 可以明顯增加鉆孔孔限, 減少披鋒, 節(jié)約成本；
采用鍍膜銑刀進行銑邊及成型加工時, 有利于減少產(chǎn)品的披鋒、毛刺及銑刀斷刀, 提高生產(chǎn)效率及節(jié)約成本

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口品牌的代理商.

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伯東 KRI 考夫曼射頻離子源在 PCB 鉆頭銑刀上的應(yīng)用

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