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壓阻式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)

來源：金湖天能自動化儀表有限公司 2011年01月12日 16:41

壓阻式壓力傳感器以半導體應變片為主，其常用的彈性變形體是單晶硅膜片。因此，半導體應變片可采用集成電路技術直接在彈性元件上形成擴散硅電阻，在膜片睛擴散硅四只應變電阻，組成一個全橋測量電路。壓阻式壓力傳感器的特點是體積小，結(jié)構(gòu)簡單，靈敏系數(shù)大，單晶硅膜片既是彈性元件又是壓敏元件，易于批量生產(chǎn)。有的壓阻式傳感器甚至將溫度補償電路、電源變換電路、放大電路集成在同一硅膜片上，既提高傳感器的靜態(tài)特性和穩(wěn)定性，又實現(xiàn)傳感器的微型化、集成化和智能化，是目前發(fā)展和應用較為迅速的壓力傳感器。這種傳感器又稱固態(tài)壓力傳感器，也集成壓力傳感器

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