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一:美國博曼BA-100儀器介紹:
1:品牌:美國博曼(Bowman)
2:儀器原理:
X射線熒光(XRF)儀器的工作原理是對(duì)被測樣品發(fā)射一束一次X射線,樣品的原子吸收X射線的能量后被激發(fā)并釋放出二次X射線。每個(gè)化學(xué)元素會(huì)釋放出特定能量的X射線。通過測量這些釋放出的二次X射線的特征能量和強(qiáng)度,X射線分析儀就能夠?qū)Ρ粶y材料的鍍層厚度和成份提供定性和定量的分析。
3:儀器原產(chǎn)地:儀器整機(jī)原裝美國進(jìn)口,電腦與打印機(jī)國內(nèi)配置。
4:儀器測量元素范圍:元素鈦(22)到鈾(92)
5:儀器分析能力:鍍層:5層(4層鍍層+基材);成份:多同時(shí)測定25種元素。
6:X射線管:微聚焦型射線管標(biāo)定功率50瓦,設(shè)計(jì)功率300瓦,銅管體;設(shè)計(jì)功率更高,銅管體相比不銹鋼管體散熱性能更好,壽命更長,(市場上有些采用不銹鋼管,散熱差,光管使用2年后容易出現(xiàn)漏油、掉電流)。
7:探測器類型及分辨率:采用高分辨率固態(tài)Si-PIN半導(dǎo)體探測器,分辨率優(yōu)于190eV,(搭載高分辨率的固態(tài)探測器,能量分辨率更高,測量相鄰元素更,儀器無需二次濾波器,峰位長時(shí)間保持穩(wěn)定,無需頻繁地用標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)儀器;市場上有些老式的封氣正比計(jì)數(shù)器,分辨率約900eV,正比計(jì)數(shù)探測器,能量分辨率很低,因?yàn)槭菤怏w探測器,容易受環(huán)境溫濕度影響,時(shí)常出現(xiàn)干擾,儀器必須經(jīng)常用標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)且儀器開機(jī)預(yù)熱時(shí)間超長)。
8:儀器剛開機(jī)系統(tǒng)預(yù)熱時(shí)間:X射線管在出廠前經(jīng)過嚴(yán)格調(diào)教,且采用半導(dǎo)體探測器,預(yù)熱時(shí)間短,開機(jī)后5分鐘內(nèi)可以開始測量。(市場上有些儀器由于采用氣態(tài)探測器,受溫濕度影響大,需要等探測器穩(wěn)定后才能開始測量,預(yù)熱時(shí)間需要超過30分鐘。)
9:X射線光程(射線管窗口離開樣品表面距離):小于2英寸(博曼BA100采用了新的技術(shù),具有更緊湊的光學(xué)結(jié)構(gòu),X射線光程短,減少射線能量損失,樣品激發(fā)效果,改善測量重復(fù)性).
10:濾波器:4 位置一次濾波器,自由切換,博曼使用Si-PIN探測器具有足夠好的元素分辨率,無需采用二次濾波器。
11:準(zhǔn)直器:圓形:Φ0.1、Φ0.2、Φ0.3、Φ0.6mm可選
12:X射線方向:從上往下。
13:視頻放大倍數(shù):30倍光學(xué)放大(50倍可選)
14:樣品倉:開槽式
15:儀器測量報(bào)告:一鍵導(dǎo)出,并且自動(dòng)保存每一個(gè)測量點(diǎn)的圖像,方便客戶跟蹤實(shí)際測量情況。
16:激發(fā)電壓:0-50Kv連續(xù)可調(diào)。
17:配備標(biāo)準(zhǔn)片庫:軟件標(biāo)準(zhǔn)配備標(biāo)準(zhǔn)片庫功能,方便對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行管理和維護(hù),記錄標(biāo)準(zhǔn)片的信息、校準(zhǔn)日期等。存儲(chǔ)常用元素的波譜,方便校準(zhǔn)檔案的建立和維護(hù)。(市場上其它儀器沒有這個(gè)功能)
18:校準(zhǔn)檔案建立:權(quán)限開放給客戶,客戶可以根據(jù)實(shí)際情況隨意添加新的校準(zhǔn)檔案和分析程序。
19:設(shè)備精度:
例:1:使用0.2mm準(zhǔn)直器進(jìn)行測量標(biāo)準(zhǔn)片,小測量點(diǎn)直徑應(yīng)在0.3mm以上;
層鍍層精度(相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)片):
1~20uin(0.025um-0.5um)誤差為±5%~12%,20uin(0.5um)以上誤差為±5%;
第二層鍍層精度(相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)片):誤差為±10%;
第三層鍍層精度(相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)片):誤差為±15%;
2:機(jī)器測量厚度范圍為:(層厚度 x 10 + 第二層厚度) < 800 uinch微英寸(20um微米) ;超出此范圍測量精度不在保障內(nèi)。
20:質(zhì)保期:儀器整機(jī)保修12個(gè)月,標(biāo)準(zhǔn)片易耗品不在保修范圍內(nèi);儀器保修期內(nèi),使用儀器期間出現(xiàn)問題,我司收到通知后2個(gè)小時(shí)內(nèi),指導(dǎo)解決,如無法解決,12個(gè)工作小時(shí)內(nèi)我司工程師上門服務(wù);非正常操作所引起故障,如雷擊、人為損壞,自然災(zāi)害等,均不在保修范圍內(nèi)。(如有特殊要求,可延長保修期)。
二:以下是美國博曼半自動(dòng)臺(tái)與全自動(dòng)臺(tái)參數(shù)對(duì)比:
三:裝機(jī)配件清單:
例:《BA-100-P-MVM設(shè)備裝機(jī)配件清單》
序號(hào) | 配件名稱 | 品牌/型號(hào) | 單位 | 數(shù)量 | 備注 |
1 | 博曼Bowman BA-100測量主機(jī) | 博曼/BA-100 | 臺(tái) | 1 |
|
2 | 50瓦鎢靶微聚焦X射線管 | 博曼 | 件 | 1 |
|
3 | 高分辨率硅PIN探測器 | 博曼 | 件 | 1 |
|
4 | 開槽式自動(dòng)XY樣品臺(tái) (行程范圍152x127mm)(如選用SFF這項(xiàng)是開槽式固定臺(tái)) | 博曼 | 件 | 1 |
|
5 | MVM多準(zhǔn)直器組件: 0.1mm、0.2mm、03mm、0.6mm(如選用SFF這項(xiàng)只有0.2mm) | 博曼 | 件 | 1 |
|
6 | 30X光學(xué)放大鏡頭 | 博曼 | 件 | 1 |
|
7 | 可調(diào)節(jié)亮度LED樣品照明 | 博曼 | 件 | 1 |
|
8 | 樣品艙門安全互鎖及Z軸防碰撞機(jī)構(gòu) | 博曼 | 件 | 1 |
|
9 | 可變焦距,,雷射聚焦組件(如選用SFF這項(xiàng)是固定焦距,無法變焦) | 博曼 | 件 | 1 |
|
10 | 可容納樣品高度為5.5英寸(14厘米)Z軸行程132mm | 博曼 | 件 | 1 |
|
11 | 基于FP的膜厚測量軟件,內(nèi)置元素標(biāo)樣數(shù)據(jù)庫 | 博曼 | 件 | 1 |
|
12 | 4位置自動(dòng)切換一次濾波器用于優(yōu)化信噪比 | 博曼 | 件 | 1 |
|
13 | 聯(lián)想(Lenovo)商用臺(tái)式電腦一臺(tái) | 聯(lián)想 | 件 | 1 |
|
14 | 操作系統(tǒng) WINDOWS平臺(tái) | 微軟/Win10 簡體中文版 | 件 | 1 |
|
15 | 聯(lián)想19.5英寸顯示器 | 聯(lián)想 | 件 | 1 |
|
16 | 能量校準(zhǔn)片 | 博曼 | 件 | 1 |
|
17 | 銀標(biāo)準(zhǔn)片 | Ag 80uinch(2.0um) | 件 | 1 |
|
18 | 鎳標(biāo)準(zhǔn)片 | Ni 80 uinch(2.0um) | 件 | 1 |
|
19 | 鎳標(biāo)準(zhǔn)片 | Ni160uinch(4.0um) | 件 | 1 |
|
20 | 金標(biāo)準(zhǔn)片) | Au 2 uinch(0.05um | 件 | 1 |
|
21 | 鈀標(biāo)準(zhǔn)片 | Pd 4 uinch(0.1um) | 件 | 1 |
|
22 | 無限厚元素片 Ag、Ni、Au、Pd、Cu、Fe | 純元素片 | 件 | 6 |
|
23 | 美國博曼 BA100操作指南 | 博曼 | 件 | 1 |
|
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