P36中空式壓電偏轉掃描鏡

（具有Φ10mm通光孔）

 

P36中空式壓電偏轉鏡的中心具有直徑10mm的通光孔徑，是專為光的透射（例如，光過濾）及反射應用而設計。作為壓電偏轉鏡，它既可產(chǎn)生偏轉運動又可產(chǎn)生直線運動，對光束的偏轉范圍可達1.6mrad；作為移相器，它的直線運動范圍可達12µm，也適于調(diào)節(jié)光的路徑長度。響應速度快，可達亞毫秒。

 

特點:

用于掃描、光學對準及鏡子移動裝置對準；

Φ10mm中心通光孔；

壓電三腳設計；

光束偏轉可達1.6mrad；

活塞運動可達12μm（移相器）；

亞毫秒響應，亞微弧度分辨率；

閉環(huán)版本具有更高精度；

用于光學、鏡片或其他部件；

無摩擦，高精度撓曲導向系統(tǒng)；

平行運動學擴展動態(tài)性及更好的多軸精度。

 

應用案例

圖像處理/穩(wěn)定；

干涉法；

激光掃描/光束偏轉；

激光調(diào)諧；

光過濾/開關；

光束穩(wěn)定等。

 

 P36偏轉鏡介紹

 

 

P36多軸俯仰/偏轉平臺及Z向定位臺是基于壓電三腳式設計的快速、緊湊型元件。三腳式設計的特點是在較寬的溫度范圍內(nèi)具有優(yōu)化的角度穩(wěn)定性。

該壓電偏轉鏡設計可將鏡片或光學元件安裝在任意方向，且中空設計非常適于光過濾等。

P36壓電偏轉鏡的三腳驅(qū)動方式，可在較大的溫度范圍內(nèi)提供*化的角度穩(wěn)定性；體積更小巧；兩軸具有相同的偏轉角度及相同的動態(tài)性能；更快的響應及更好的線性度；同時也防止了偏振旋轉。

內(nèi)部三支壓電陶瓷促動器是由三通道控制器來分別單獨驅(qū)動（用于俯仰/偏轉運動）或者同時并聯(lián)驅(qū)動（直線升降運動）。

結構示意圖

 

 開環(huán)模式下使用

 

 

        在開環(huán)模式下，俯仰/偏轉角度與施加電壓基本成線性關系。P36開環(huán)型號非常適于高速、高分辨率、且角度定位是次要的（例如跟蹤）或由外部傳感（例如CCD，PSD）提供反饋的應用。

 

 控制及運動方式

 

 

1、開環(huán)Z向平臺控制方式

內(nèi)部三支壓電直線陶瓷促動器并聯(lián)連接，提供頂部環(huán)在垂直方向的定位（活塞運動）。只需一個驅(qū)動通道。

2、開環(huán)Z向/俯仰/偏轉定位器控制方式

內(nèi)部三支壓電直線陶瓷促動器由一個三通道壓電放大器分別單獨驅(qū)動（或并聯(lián)）。可實現(xiàn)垂直（活塞運動）定位及俯仰/偏轉定位。

 

高可靠性及長壽命

 

 

緊湊的P36系統(tǒng)配備加有預緊力的高性能壓電促動器，集成到一個成熟的、通過FEA建模分析的、彎曲導向系統(tǒng)。內(nèi)部壓電促動器為共燒型壓電陶瓷，提供非常好的性能及可靠性。

 

可配備鏡片轉接座

 

 

P36壓電偏轉鏡/移相器可選擇配套鏡片轉接座，以方便鏡片的安裝與固定，如下圖所示。

  頻率負載曲線

 

 

P36壓電偏轉鏡的使用頻率與振動幅度、負載情況、安裝方式等條件有關。下圖為P36隨負載的增加諧振頻率的變化曲線。

 

P36基本技術參數(shù)

 

 

 

型號，開環(huán)-K	移相器	偏轉鏡	單位
	P36.Z1K	P36.ZT1K
運動自由度	Z	Z、θx、θy
運動和定位
zui大偏轉角度 θx、θy	-	800	μrad±20%
Z向zui大行程	12	12	µm±20%
偏轉分辨率	-	0.02	µrad，typ.
直線分辨率	0.1	0.1	nm，typ.
機械性能
空載諧頻	7.5	7.5	kHz±20%
空載工作頻率 10%行程	2000	1500	Hz±20%
空載工作頻率 行程	200	150	Hz±20%
階躍時間(響應時間)	0.5	0.5	ms±20%
驅(qū)動性能
靜電容量	0.4	0.4	μF/軸±20%
其他
工作溫度范圍	-20~80		°C
外形尺寸（直徑-內(nèi)徑/高）	20-10/19.5		mm

注：超低溫版本、超高真空版本及連接器等參數(shù)可定制。

 

 P36驅(qū)動與控制

 

 

光束偏轉角度為機械偏轉角度的兩倍。為了達到zui大偏轉角度，內(nèi)部三支陶瓷促動器需要有偏置電壓75V。而由于平行運動學設計，直線行程和偏轉行程都是獨立的。

以下為推薦配套使用的壓電控制器及簡單參數(shù)。

E01	E53.A	E70
3路輸出 模擬、上位機通信、旋鈕 開環(huán)閉環(huán) 平均功率7W	1路輸出 模擬輸入 開環(huán) 平均功率10W	3路輸出 模擬與數(shù)字控制 開環(huán)閉環(huán) 平均功率5W/通道

（具有Φ10mm通光孔）

 

P36中空式壓電偏轉鏡的中心具有直徑10mm的通光孔徑，是專為光的透射（例如，光過濾）及反射應用而設計。作為壓電偏轉鏡，它既可產(chǎn)生偏轉運動又可產(chǎn)生直線運動，對光束的偏轉范圍可達1.6mrad；作為移相器，它的直線運動范圍可達12µm，也適于調(diào)節(jié)光的路徑長度。響應速度快，可達亞毫秒。

 

特點:

用于掃描、光學對準及鏡子移動裝置對準；

Φ10mm中心通光孔；

壓電三腳設計；

光束偏轉可達1.6mrad；

活塞運動可達12μm（移相器）；

亞毫秒響應，亞微弧度分辨率；

閉環(huán)版本具有更高精度；

用于光學、鏡片或其他部件；

無摩擦，高精度撓曲導向系統(tǒng)；

平行運動學擴展動態(tài)性及更好的多軸精度。

 

應用案例

圖像處理/穩(wěn)定；

干涉法；

激光掃描/光束偏轉；

激光調(diào)諧；

光過濾/開關；

光束穩(wěn)定等。

 

 P36偏轉鏡介紹

 

 

P36多軸俯仰/偏轉平臺及Z向定位臺是基于壓電三腳式設計的快速、緊湊型元件。三腳式設計的特點是在較寬的溫度范圍內(nèi)具有優(yōu)化的角度穩(wěn)定性。

該壓電偏轉鏡設計可將鏡片或光學元件安裝在任意方向，且中空設計非常適于光過濾等。

P36壓電偏轉鏡的三腳驅(qū)動方式，可在較大的溫度范圍內(nèi)提供*化的角度穩(wěn)定性；體積更小巧；兩軸具有相同的偏轉角度及相同的動態(tài)性能；更快的響應及更好的線性度；同時也防止了偏振旋轉。

內(nèi)部三支壓電陶瓷促動器是由三通道控制器來分別單獨驅(qū)動（用于俯仰/偏轉運動）或者同時并聯(lián)驅(qū)動（直線升降運動）。

結構示意圖

 

 開環(huán)模式下使用

 

 

        在開環(huán)模式下，俯仰/偏轉角度與施加電壓基本成線性關系。P36開環(huán)型號非常適于高速、高分辨率、且角度定位是次要的（例如跟蹤）或由外部傳感（例如CCD，PSD）提供反饋的應用。

 

 控制及運動方式

 

 

1、開環(huán)Z向平臺控制方式

內(nèi)部三支壓電直線陶瓷促動器并聯(lián)連接，提供頂部環(huán)在垂直方向的定位（活塞運動）。只需一個驅(qū)動通道。

2、開環(huán)Z向/俯仰/偏轉定位器控制方式

內(nèi)部三支壓電直線陶瓷促動器由一個三通道壓電放大器分別單獨驅(qū)動（或并聯(lián)）?？蓪崿F(xiàn)垂直（活塞運動）定位及俯仰/偏轉定位。

 

高可靠性及長壽命

 

 

緊湊的P36系統(tǒng)配備加有預緊力的高性能壓電促動器，集成到一個成熟的、通過FEA建模分析的、彎曲導向系統(tǒng)。內(nèi)部壓電促動器為共燒型壓電陶瓷，提供非常好的性能及可靠性。

 

可配備鏡片轉接座

 

 

P36壓電偏轉鏡/移相器可選擇配套鏡片轉接座，以方便鏡片的安裝與固定，如下圖所示。

  頻率負載曲線

 

 

P36壓電偏轉鏡的使用頻率與振動幅度、負載情況、安裝方式等條件有關。下圖為P36隨負載的增加諧振頻率的變化曲線。

 

P36基本技術參數(shù)

 

 

 

型號，開環(huán)-K	移相器	偏轉鏡	單位
	P36.Z1K	P36.ZT1K
運動自由度	Z	Z、θx、θy
運動和定位
zui大偏轉角度 θx、θy	-	800	μrad±20%
Z向zui大行程	12	12	µm±20%
偏轉分辨率	-	0.02	µrad，typ.
直線分辨率	0.1	0.1	nm，typ.
機械性能
空載諧頻	7.5	7.5	kHz±20%
空載工作頻率 10%行程	2000	1500	Hz±20%
空載工作頻率 行程	200	150	Hz±20%
階躍時間(響應時間)	0.5	0.5	ms±20%
驅(qū)動性能
靜電容量	0.4	0.4	μF/軸±20%
其他
工作溫度范圍	-20~80		°C
外形尺寸（直徑-內(nèi)徑/高）	20-10/19.5		mm

注：超低溫版本、超高真空版本及連接器等參數(shù)可定制。

 

 P36驅(qū)動與控制

 

 

光束偏轉角度為機械偏轉角度的兩倍。為了達到zui大偏轉角度，內(nèi)部三支陶瓷促動器需要有偏置電壓75V。而由于平行運動學設計，直線行程和偏轉行程都是獨立的。

以下為推薦配套使用的壓電控制器及簡單參數(shù)。

E01	E53.A	E70
3路輸出 模擬、上位機通信、旋鈕 開環(huán)閉環(huán) 平均功率7W	1路輸出 模擬輸入 開環(huán) 平均功率10W	3路輸出 模擬與數(shù)字控制 開環(huán)閉環(huán) 平均功率5W/通道