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由于抗腐蝕的干式陶瓷電容壓力傳感器沒有中間液體的傳遞, 過程壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,襯底的電極與膜片電極的電容量變化比例與壓力大小,電容的變化值經(jīng)激光微調(diào),傳感器信號調(diào)理電路ASIC放大輸出高達(dá)4000mV的直流電壓,內(nèi)置的溫度傳感器不斷測量介質(zhì)的溫度并進(jìn)行溫度補(bǔ)償。因此過載時(shí),膜片貼到陶瓷襯底上而不會損壞。當(dāng)壓力恢復(fù)到正常時(shí),其性能不受任何影響。*解決了低量程過載能力差的缺點(diǎn),是擴(kuò)散硅傳感器的升級換代產(chǎn)品。標(biāo)準(zhǔn)化的高輸出具 有*的抗*力,配線路板可進(jìn)行大的量程遷移(10:1)和時(shí)間穩(wěn)定性,自帶溫度補(bǔ)償,并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。
并且陶瓷電容壓力傳感器由于沒有液體的傳遞作用,無任何填充液,不會產(chǎn)生工藝污染, 因此在食品、醫(yī)藥等行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用,加之是干式陶瓷膜片,故不受安裝方向影響,以其作為敏感元件生產(chǎn)的壓力變送器被廣泛地應(yīng)用在各種測量壓力的場合。
而陶瓷電容壓力傳感器干式陶瓷電容厚膜壓力傳感器的zui大特點(diǎn)是:量程可以小到700Pa,抗過載 能力可達(dá)量程10倍,*解決了其它類型傳感器沒有小量程及在小量程時(shí)過載能力差的缺點(diǎn),它除具有一般傳感器的量程外,其特色的是它的正負(fù)表壓功能,如:±7kPa等。
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