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橢圓偏振測厚儀 LDX-SGC-1A的 方法和特點

來源：山東利達信儀器儀表設(shè)備有限公司   2016年04月09日 09:18  

橢圓偏振測厚儀 橢圓測厚儀

型號：LDX-SGC-1A

技術(shù)指標：

 

編號

名稱

參數(shù)

1

測量范圍

1nm-300nm

2

測量Z小值

≤1nm

3

入射角

30°～90°誤差≤0.1°

4

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°～180°

5

度盤刻度

每格2度

6

游標Z小讀數(shù)

0.05°

7

光學中心高度

152mm

8

工作臺直徑

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主機重量

20kg

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