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DL10-GT14-ST-21型方塊電阻測試儀使用說明書
DL10-GT14-ST-21型方塊電阻測試儀是四探針方塊電阻測試儀中的新一代產(chǎn)品,是一種依照類似國家標(biāo)準(zhǔn)和美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計,專門測量半導(dǎo)體方塊電阻(或稱薄屋電阻、面電阻,單位Ω/□)的新型儀器??捎糜跍y量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(如ITO透明導(dǎo)電氧化膜)……等同類物質(zhì)的薄層電阻。
該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心;用基準(zhǔn)電源和運算放大器組成高精度穩(wěn)流源;帶回路有效正常指示電路;并配以大型LCD顯示讀數(shù),使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點。
按方塊電阻量值大小分為二個量程檔:
1 1.00~199.99Ω/□;
2 10.0~1999.9Ω/□;
小分辨率:0.01Ω/□;
測量過程誤差:≤±0.8%;
量程:0~199.99mv;
分辨率:10μv;
方式:LCD大屏幕顯示;極性,超量程均自動顯示;小數(shù)點同步顯示;
在整個量程范圍內(nèi),測量不確定度≤5%;
間距:1mm或3.8mm可選,偏差:≤2%;
針間絕緣電阻≥500MΩ;
9V疊層電池1節(jié);
如下圖(圖1)所示,將四根探針在同一直線上排列的探針以一定壓力垂直壓在被測樣品表面上,在1,4探針間通以電流I時,2、3探針間就產(chǎn)生一定的電壓降ΔV。
圖1
根據(jù)理論公式(見下),
(Ω/□)
其中:
D:樣品直徑或長、寬度;
W:擴散層或鍍膜層厚度;
S:探針間距;
F(D/S):樣品直徑修正因子;
F(W/S):樣品厚度修正因子;
Fsp:探針修正系數(shù);
當(dāng)測量很薄的半導(dǎo)體雙面擴散層或玻璃鍍層的方塊電阻時,被測材料可作類似無窮大,此時,公式中的F(D/S)=4.532;F(W/S)=1,選取探針間距S=1mm;則Fsp=1,這時就有:
(Ω/□)
當(dāng)取測量電流I=4.532×10n(mA)時,即可從顯示屏直接讀取被測材料的方塊電阻。
DL10-GT14-ST-21型手提式方塊電阻測試儀,由電氣主機和探頭(手提式或臺式均可)組成。兩部分用訊號電纜和接插件相連。
面板如下圖所示,顯示屏用于顯示測量的方塊電阻數(shù)據(jù)結(jié)果。面板及顯示屏指示標(biāo)志說明如下:
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