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常用術語
壓力
表壓 + 大氣壓，單位為psia，即：磅 / 平方英寸(絕壓)

精度
用數(shù)量來定義的誤差范圍。流量設備的精度用滿量程百分比(%F.S.)或讀數(shù)百分比(%Rdg)來表示。

大氣壓
大氣壓力是指地球表面空氣受重力影響而作用在物體上的壓力。氣壓計測得海平面標準大氣壓為14.7 psi (磅 / 平方英寸)。

氣壓計
用來測量大氣壓力的儀表。

科里奧利流量計
科里奧利流量計利用科里奧利效應來測量流體的質量流量。使流體通過一根或兩根并排U形管，振動U形管，作用于流體微粒上的科里奧利效應力與振動及流動方向垂直。當管子向上振動時作用于向下，但由于流體溢出U形管其作用力向上，于是產生了扭矩；管子向下振動時則反之。U形管內的扭矩與通過流體的質量流量直接成正比。

壓差
兩個壓力之間的差。壓差式流量計利用壓差來計算體積流量。

壓差式流量計
壓差式或層流式流量計利用層流片內產生的壓降來測量流體的質量流量。層流片可將來自紊流運動的流體分流至其微小間隙內，通過縮小層流片間距及降低流體速度使流體在層流片內處于層流運動，壓差傳感器測得層流片內流體兩端的壓降，即可利用泊肅葉定律通過壓差計算體積流量，并在已知溫度和壓力的條件下用密度換算成質量流量。

層流式流量計
參見壓差式流量計

質量流量
也稱作為流量。當氣體通過的管道處于標準工況時，其質量流量可由體積流量計算得到。氣體密度隨管道內壓力和溫度的變化而膨脹(高于大氣壓和/或溫度低于標準工況)或壓縮(低于大氣壓和/或溫度高于標準工況)，從而影響體積流量測量值，也就是說在溫度或壓力波動時相同的氣體分子數(shù)可導致*不同的體積流量。一些質量流量計靠絕壓傳感器、溫度傳感器或其它技術來修正氣體密度的變化，將體積流量數(shù)值修正至標準工況后，乘以標準工況下氣體密度便可計算出質量流量。

介質
對于流量設備和壓力設備而言，介質通常是指流經設備的過程氣體或液體。

MFC
質量流量控制器的英文縮寫

重復性
指某一特定時間內，連續(xù)測量某相同流量，其讀數(shù)接近的程度。重復性用滿量程百分比(%F.S.)或讀數(shù)百分比(%Rdg)來表示。

分辨率
指屏幕可顯示的某參數(shù)的zui小增量變化。(注：與精度的含義不同)

熱式流量計
熱式流量計通過熱量變化來測量流體的流量，通常有兩種方法。*種方法是測量保持加熱元件溫度不變所需要的電流 ，流體流經加熱元件時，與其相接觸的氣體微粒將帶走其表面熱量，當流量增大時，所需要的保持加熱元件溫度不變的電流也越大，該電流與質量流量成正比。另一種方法則是測量加熱元件或火線兩端的溫度，流體通過加熱元件時會帶走其表面熱量，所以加熱元件前端的溫度要高于后端，其兩端溫差與流經流體的質量流量成比例。

量程可調比
量程可調比是指設備可使用的量程范圍，用zui大流量與zui小流量的比值來表示。

體積流量
指氣體的實際體積。由于氣體是可壓縮的，其體積會隨著溫度和壓力的變化而變化，但質量是不變的。