真空測量儀是新一代智能復(fù)合真空測量儀。采用單片微機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,真空度讀數(shù)數(shù)字顯示,測量結(jié)果直觀、明確、讀數(shù)方便。
真空測量儀:電離規(guī)管的除氣可以自動或手動進(jìn)行。采用數(shù)據(jù)記憶電路,熱偶部分可在校準(zhǔn)時(shí)直接將與熱偶電勢相對應(yīng)的真空度數(shù)值,通過面板上的按鈕置人儀器內(nèi)部記憶單元。儀器可按有限個校準(zhǔn)點(diǎn)構(gòu)成的校準(zhǔn)曲線進(jìn)行真空度測 量。電離部分則可以將電離規(guī)管的校準(zhǔn)系數(shù)置入儀 器內(nèi)部記憶單元。測量時(shí)可以對讀數(shù)進(jìn)行修正,測量精度高。采用帶有反饋環(huán)節(jié)的D/A電路控制熱偶加熱電流的大小,熱偶加熱電流可以數(shù)字設(shè)定, 簡單、方便、直觀、準(zhǔn)確。量程自動切換。當(dāng)真空度下降,超出電離規(guī)管測量范圍時(shí),儀器可以自動停止電離部分工作,顯示熱偶部分測量數(shù)據(jù)。當(dāng)真空度提高時(shí),則可自動啟動電離部分工作。采用研制的面板嵌裝式打印機(jī),能打印真空度 —時(shí)間曲線或真空度—時(shí)間數(shù)據(jù)。兩種打印方式可由用戶選擇,打印數(shù)據(jù)時(shí),時(shí)間間隔可由用戶選擇。打印曲線時(shí),真空度采用對數(shù)座標(biāo)。真空系統(tǒng)真空度隨時(shí)間變化的趨勢一目了然.真空度單位可自動轉(zhuǎn)換。具有多種測量顯示模式,顯示方式靈活多樣。帶有三個繼電器觸點(diǎn),動作真空度可以數(shù)字設(shè)定。當(dāng)真空度高于0.01Pa時(shí),可以自動標(biāo)定熱偶規(guī)管的加熱電流。儀器帶有RS-485/232串行數(shù)據(jù)通訊接口,與上位計(jì)算機(jī)通訊方便。
真空測量儀:帶對數(shù)/線性特性的0-10V可編程圖表輸出,適用于單個或組合規(guī)(后者VGC402/403)。高分辨率- 16位A/D轉(zhuǎn)換。自動識別被連接上的INFICON的真空規(guī)。用戶可選擇測量單位(mbar, Torr, Pascal, micron)。多達(dá)6個帶遲滯調(diào)整的可調(diào)設(shè)點(diǎn),可分配到任意通道。通用緊湊的臺式設(shè)計(jì),可以輕松安裝在面板或19"機(jī)架上。大范圍電源匹配:90V-250V,50-60 Hz