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業(yè)務(wù)   【：黃俊杰 】 

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中國臺(tái)灣凱佳葉片泵VQ20-6-F-R-AB-01中國臺(tái)灣KCL油泵，，論文導(dǎo)讀:：表面粗糙度作為檢測(cè)加工表面質(zhì)量的常用參數(shù)。表面粗糙度檢測(cè)技術(shù)研究概況。
論文關(guān)鍵詞：表面粗糙度，非接觸，光學(xué)測(cè)量

隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步和社會(huì)的發(fā)展，人們對(duì)于機(jī)械產(chǎn)品表面質(zhì)量的要求越來越高。表面粗糙度是評(píng)價(jià)工件表面質(zhì)量的一個(gè)重要指標(biāo)，國內(nèi)外很多學(xué)者在表面粗糙度檢測(cè)方面做了大量研究工作。目前測(cè)量表面粗糙度的主要方法有：接觸式測(cè)量和非接觸式測(cè)量。
1 接觸式測(cè)量
接觸式測(cè)量就是測(cè)量裝置的探測(cè)部分直接接觸被測(cè)表面，能夠直觀地反映被測(cè)表面的信息，接觸式測(cè)量方法主要是觸針法，該方法經(jīng)過幾十年的充分發(fā)展，以其穩(wěn)定、可靠的特點(diǎn)被廣泛應(yīng)用。但接觸式測(cè)量存在很大的缺陷，具體表現(xiàn)在：（1）對(duì)高精度表面及軟質(zhì)金屬表面有劃傷破壞作用；（2）受觸針*圓弧半徑的限制，其測(cè)量精度有限；（3）因觸針磨損及測(cè)量速度的限制，無法實(shí)現(xiàn)在線實(shí)時(shí)測(cè)量[1]。
2 非接觸式測(cè)量
為了克服接觸式測(cè)量方法的不足非接觸，人們對(duì)非接觸式測(cè)量方法進(jìn)行了廣泛研究。研究表明，非接觸式測(cè)量方法具有非接觸、無損傷、快速、測(cè)量精度高、易于實(shí)現(xiàn)在線測(cè)量、響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)。目前已有的非接觸式測(cè)量方法包括各種光學(xué)測(cè)量方法、超聲法、掃描隧道顯微鏡法、基于計(jì)算機(jī)視覺技術(shù)的表面粗糙度檢測(cè)方法等。這里我們只對(duì)基于光學(xué)散射原理的測(cè)量方法、基于光學(xué)干涉原理的測(cè)量方法和基于計(jì)算機(jī)視覺技術(shù)的測(cè)量方法做簡單介紹論文格式模板。
2.1基于光學(xué)散射原理的測(cè)量方法
當(dāng)一束光以一定的角度照射到物體表面后，加工表面的粗糙不平將引起發(fā)生散射現(xiàn)象。研究表明：表面粗糙度和散射光強(qiáng)度分布有一定的關(guān)系。對(duì)于表面粗糙度數(shù)值較小的表面，散射光能較弱，反射光能較強(qiáng)；反之，表面粗糙度數(shù)值較大的表面，散射光能較強(qiáng)，反射光能較弱。
基于光學(xué)散射原理測(cè)量表面粗糙度的研究方法和理論較多。四川聯(lián)合大學(xué)和哈爾濱理工大學(xué)相繼提出了一種稱之為散射特征值的參數(shù)，表征被測(cè)物體表面上反射光和散射光的分散度，散射特征值與被測(cè)物體表面的粗糙度有很好的對(duì)應(yīng)關(guān)系[2]。哈爾濱理工大學(xué)利用已知表面粗糙度參數(shù)值的標(biāo)準(zhǔn)樣塊測(cè)得其散射特征值，建立—關(guān)系曲線，從而實(shí)現(xiàn)利用散射特征值測(cè)量火炮內(nèi)膛表面粗糙度[3]。
基于光學(xué)散射原理的表面粗糙度檢測(cè)方法，具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、易于集成產(chǎn)品、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好、適于在線測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。該方法的缺點(diǎn)是測(cè)量精度不高，用于超光滑表面粗糙度的測(cè)量還有待進(jìn)一步改進(jìn)。
2.2基于光學(xué)干涉原理的測(cè)量方法
當(dāng)相干光照射到工件表面同一位置時(shí)，由于光波的相互位相關(guān)系，將產(chǎn)生光波干涉現(xiàn)象。一般的干涉法測(cè)量是利用被測(cè)面和標(biāo)準(zhǔn)參考面反射的光束進(jìn)行比較，對(duì)干涉條紋做適當(dāng)變換，通過測(cè)量干涉條紋的相對(duì)變形來定量檢測(cè)表面粗糙度。該方法的測(cè)量精度取決于光的波長。但是由于干涉條紋的分辨率是以光波波長的一半為極限的，僅從條紋的狀態(tài)無法判斷表面是凸起還是凹陷，因此非接觸，作為一種具有較好分辨率、寬測(cè)量范圍的表面粗糙度在線檢測(cè)技術(shù)，這種干涉法測(cè)量技術(shù)還有待于進(jìn)一步發(fā)展[4]。
基于光學(xué)干涉原理，1984年美國洛克西德公司huang采用共模抑制技術(shù)研制成功了光學(xué)外差輪廓儀，光外差干涉檢測(cè)技術(shù)是一種具有納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度的高精度光學(xué)測(cè)量方法，適用于精加工、超精加工表面的測(cè)量，而且可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)時(shí)間的研究；華中理工大學(xué)采用光外差干涉方法研制出2D-SROP-1型表面粗糙度輪廓儀[5]。美國的維易科(VEECO)精密儀器有限公司，采用共光路干涉法研制了WYKO激光干涉儀和光學(xué)輪廓儀，可用來測(cè)量干涉條紋位相[6]。
基于光學(xué)干涉原理測(cè)量表面粗糙度分辨率高，適于測(cè)量超光滑表面粗糙度，但由于該方法的測(cè)量精度受光波波長的影響很大，所以其測(cè)量范圍受到一定影響。
2.3基于計(jì)算機(jī)視覺技術(shù)的測(cè)量方法
基于計(jì)算機(jī)視覺的粗糙度測(cè)量方法是指使用攝像機(jī)抓取圖像，然后將該圖像傳送至處理單元，通過數(shù)字化處理，根據(jù)像素分布和灰度、紋理、形狀、顏色等信息，選用合理的算法計(jì)算工件的粗糙度參數(shù)值。近年來，隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)和工業(yè)生產(chǎn)的不斷發(fā)展，該方法受到越來越多的關(guān)注。
北京理工大學(xué)的王仲春等人采用顯微鏡對(duì)檢測(cè)表面進(jìn)行放大，并通過對(duì)CCD采集加工表面微觀圖像進(jìn)行處理實(shí)現(xiàn)了表面粗糙度的檢測(cè)[7]論文格式模板。哈爾濱理工大學(xué)吳春亞、劉獻(xiàn)禮等為解決機(jī)械加工表面粗糙度的快速、在線檢測(cè)，設(shè)計(jì)了一種表面粗糙度圖像檢測(cè)方法，建立了圖像灰度變化信息與表面粗糙度之間的關(guān)系模型[8]。英國學(xué)者Hossein Ragheb和Edwin R. Hancock通過數(shù)碼相機(jī)拍攝的表面反射圖來估計(jì)表面粗糙度參數(shù)非接觸，運(yùn)用Vernold–Harvey修正的B–K散射理論模型獲得了比Oren–Nayar模型更好的粗糙度估計(jì)結(jié)果[9]。澳大利亞學(xué)者Ghassan A. Al-Kindi和Bijan Shirinzadeh對(duì)基于顯微視覺的不同機(jī)械加工表面粗糙度參數(shù)獲取的可行性進(jìn)行了評(píng)估，討論了照射光源與表面輻照度模型對(duì)檢測(cè)的影響，結(jié)果顯示盡管從視覺數(shù)據(jù)和觸針數(shù)據(jù)所獲得的粗糙度參數(shù)存在一定差異，但是基于視覺的方法仍是一種可靠的粗糙度參數(shù)估計(jì)方法[10-11]。中國臺(tái)灣凱佳葉片泵VQ20-6-F-R-AB-01中國臺(tái)灣KCL油泵