Q3-V靜電電壓表

如何選擇正確的儀器量測表面靜電壓

隨著科學(xué)技術(shù)的日益發(fā)展，電子元器件的工作頻率越來越高，集成化程度越來越高，這些電子元器件本身的抗靜電能力也越來越低。目前顯著存在這類問題的行業(yè)主要集中在IC，F(xiàn)PD，HDD等生產(chǎn)廠家，他們越來越關(guān)心生產(chǎn)過程中存在的靜電問題。要瞭解生產(chǎn)過程中的靜電狀況，目前zui主要的是使用一些儀器來測量生產(chǎn)設(shè)備、工作機(jī)臺(tái)以及產(chǎn)品本身帶靜電量。但是如何正確的選擇測量儀器又成為這些廠家另一個(gè)困惑的問題。

但電場計(jì)由於其不需要高壓放大電路產(chǎn)生電壓回朔至探頭故其價(jià)格較低。靜電電壓表特別是使用電壓跟隨(Follow)的方法，其可以量測至非常小的面積範(fàn)圍，且此電場計(jì)的精度及解析度都來得好，但由於其會(huì)產(chǎn)生一與表面電位相同的電壓在探頭上，故使用時(shí)需注意不要去觸碰此探頭。

AC-feedback靜電電壓表是一種較經(jīng)濟(jì)型的靜電跟隨型靜電電壓表﹔其不會(huì)產(chǎn)生高電壓在探頭上，在特定的D0範(fàn)圍是精確度維持一致的。舉例說明，TREK公司model 520，其在3~30mm的D0範(fàn)圍內(nèi)其精確度都維持在5%。

技術(shù)指標(biāo)

有接觸式和非接觸式，一般接觸式靜電電壓表如FS3靜電計(jì)的測量精度高些，但只能適用于測量金屬體的靜電電壓或電位 ，而非接觸式測量時(shí)勿需同帶電體接觸，數(shù)字風(fēng)速儀不但能測量金屬體的靜電，也能測量絕緣體的靜電，且對被測量物體影響小。非接觸式靜電測量儀主要有 ; 直接感應(yīng)式、振動(dòng)電容式、旋轉(zhuǎn)葉片式等幾種結(jié)構(gòu)。

直接感應(yīng)式儀表經(jīng)過一段時(shí)間之后，探頭上的感應(yīng)電壓將趨近于零。因此，直接感應(yīng)式儀表不能用作固定接入的監(jiān)測儀表。但這種儀表成本很低，因而價(jià)格低廉深受用戶歡迎，但空氣中的帶電粒子、離子或儀表內(nèi)部的漏電流會(huì)使儀表讀數(shù)隨時(shí)間而漂移，在對物體測量之前要在遠(yuǎn)離被測量物體或靜電為零處清零，否測會(huì)因沒有清零或清零不正確而產(chǎn)生非常大的誤差。

旋轉(zhuǎn)葉片式 這種儀表由測量探頭，放大器、顯示儀表等環(huán)節(jié)組成。其探頭上有幾個(gè)旋轉(zhuǎn)葉片金屬極片由電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，隨著極片不停地轉(zhuǎn)動(dòng)，感應(yīng)極片上感應(yīng)出持續(xù)的交流訊號電壓。這種儀表探頭上的交流訊號也是經(jīng)過阻抗變換、放大、檢波之后，再通過顯示儀表顯示被測電壓。

為了辨別帶電體的極性，可以借助給轉(zhuǎn)動(dòng)極片加上—定的電壓，通過儀表指示可鑒別被測帶電體電數(shù)字風(fēng)速儀壓的極性。旋轉(zhuǎn)葉片式儀表也能用做固定接 入的監(jiān)測儀表。但這種儀表探頭部分有一個(gè)小電動(dòng)機(jī)，消耗能量較多，而且容易受環(huán)境影響較大，電動(dòng)機(jī)容易磨損也會(huì)產(chǎn)生干擾，探頭體積較大。有些靜電超過量程時(shí)可能指示不但不增加，還會(huì)隨著電壓的升高而讀數(shù)變小的“反常”現(xiàn)象，因些不適于監(jiān)測重要部門的靜電，否則有可能出現(xiàn)*的誤差。

集電式儀 集電式儀表是利用放射性同位素使空氣電離，借以測量被測帶電體對地電壓。其結(jié)構(gòu)原理是放射性同位素(通常用鐳)，在放射性同位素作用下，空氣被電離，在被測帶電體與探頭之間形成微弱的氣體導(dǎo)電區(qū)域，在集電片上產(chǎn)生一個(gè)直流訊號電壓，儀表探頭內(nèi)有微量的放射性同位素。由于射線有可能泄漏，使用是不要對人體測量，而且探頭前方空氣氣流速度會(huì)影響空氣電離的密度，因而影響其測量準(zhǔn)確性，在空氣流速大時(shí)根本無法測量。

振動(dòng)電容式儀表的探極上的交流訊號決定于被測帶電體的電壓和探極的振動(dòng)，不隨時(shí)間衰減，因此，這種儀表除可用作測量儀表外，還可用作固定接入的監(jiān)測儀表。而采用*技術(shù)設(shè)計(jì)的振動(dòng)電容式儀表還能在有帶電粒子或離子如高壓放電、離子風(fēng)消電器產(chǎn)生的環(huán)境中穩(wěn)定工作，也能在塵土較多，濕度較大的環(huán)境中穩(wěn)定工作。不會(huì)像直接感應(yīng)式儀表那樣產(chǎn)生漂移，也沒有旋轉(zhuǎn)葉片式儀表那樣因電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)造成磨損而影響壽命和產(chǎn)生“反常”誤差，更不會(huì)像集電式儀表測量電壓那樣對人體產(chǎn)生有害的心理作用和受空氣流動(dòng)的影響。這種儀表是目前上技術(shù)*的靜電 測量儀表，但成本高因而價(jià)格也高。

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