高精度的流量測(cè)量和控制是半導(dǎo)體組件制造的關(guān)鍵，科邁捷流量計(jì)因具有量程范圍寬、測(cè)量精度高、抗干擾能力強(qiáng)等多種優(yōu)點(diǎn)，成為工業(yè)氣體流量測(cè)量的理想選擇。本文分享的是科邁捷流量計(jì)在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的案例。

國(guó)內(nèi)一家大型半導(dǎo)體制造商，半導(dǎo)體制造過(guò)程中涉及大量的加工技術(shù)，因此對(duì)于壓縮空氣的用量要求十分嚴(yán)苛。工廠的壓縮空氣系統(tǒng)由1臺(tái)離心壓縮機(jī)、5臺(tái)螺桿壓縮機(jī)、若干臺(tái)緩沖罐及干燥機(jī)和過(guò)濾器組成。該工廠通過(guò)企業(yè)成本核算發(fā)現(xiàn)，工廠車間每天消耗大量的壓縮空氣，占其總能耗的20-30%，這個(gè)消耗量**同行業(yè)用氣量的平均水平。

該工廠的工程師對(duì)過(guò)高的用氣消耗展開調(diào)查和深入的系統(tǒng)測(cè)試后，將注意力集中到了安裝在輸送管網(wǎng)上的流量計(jì)上。輸氣管道暴露在工業(yè)振動(dòng)環(huán)境設(shè)備中，與流量計(jì)連接的振動(dòng)管道會(huì)嚴(yán)重干擾流量傳感器，導(dǎo)致流量測(cè)量不準(zhǔn)確，并且在無(wú)流量時(shí)仍然顯示有流量測(cè)量。

科邁捷技術(shù)人員了解到客戶的訴求之后，認(rèn)為采用VFM60MV渦街流量計(jì)能**滿足測(cè)量精度需求。根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)工況，需要流量計(jì)具備高精度、抗干擾的高性能流量計(jì)，科邁捷VFM60MV具有**的雙探頭抗振結(jié)構(gòu)結(jié)合**保護(hù)的數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)，能夠從噪聲中提取有用信號(hào)準(zhǔn)確穩(wěn)定測(cè)量，在保持工況流量測(cè)量精度為±1.0%RD的情況下，測(cè)量下限達(dá)2m/s，成為工廠壓縮空氣流量測(cè)量的優(yōu)選。

科邁捷技術(shù)人員將VFM60MV渦街流量計(jì)分別安裝于空壓站內(nèi)部以及車間內(nèi)輸送的主管道上，以此來(lái)計(jì)量空壓機(jī)主管出氣量以及各車間用氣量。VFM60MV渦街流量計(jì)運(yùn)行穩(wěn)定，計(jì)量數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠，客戶所關(guān)心的測(cè)量精度以及穩(wěn)定性等問題**解決。

該客戶于2019年底順利采購(gòu)VFM60MV渦街流量計(jì)共計(jì)35臺(tái)，截至今日所有流量計(jì)運(yùn)行穩(wěn)定，測(cè)量效果穩(wěn)定可靠，不僅為工廠提供高精度的壓縮空氣流量測(cè)量，為提升空氣壓縮機(jī)能效、降低企業(yè)成本提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐，同時(shí)科邁捷的遠(yuǎn)程診斷功能為客戶提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持。

案例背景

該工廠在半導(dǎo)體組件的生產(chǎn)過(guò)程中，除了在壓縮空氣的使用中需要精確的測(cè)量，對(duì)氮?dú)獾氖褂靡彩侨绱?。氮?dú)饩哂锌捎眯院投栊裕前雽?dǎo)體制造過(guò)程的各工藝中使用的核心氣體，高純氮?dú)饽軌驅(qū)Π雽?dǎo)體組件進(jìn)行氣氛保護(hù)與清洗，保證半導(dǎo)體與集成電路的質(zhì)量，不僅能夠提高生產(chǎn)效率，還有效提升了產(chǎn)品質(zhì)量。

由于氮?dú)庠诎雽?dǎo)體組件的整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中被大量使用，大多數(shù)半導(dǎo)體設(shè)備都在現(xiàn)場(chǎng)保留一臺(tái)制氮機(jī)。因此，在努力滿足高需求的同時(shí)，保持低成本也是工廠運(yùn)營(yíng)過(guò)程中的重要一環(huán)。

通過(guò)了解客戶需求和對(duì)現(xiàn)場(chǎng)工況的掌握，科邁捷技術(shù)人員提出最為合理的解決方案，并選擇符合工廠需求的*優(yōu)產(chǎn)品——TGF460熱式氣體質(zhì)量。科邁捷技術(shù)人員將使用TGF460熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)安裝于制氮機(jī)后管道上，在提供精準(zhǔn)測(cè)量數(shù)據(jù)的同時(shí)，數(shù)據(jù)通過(guò)物聯(lián)網(wǎng)上傳至客戶控制室電腦，客戶可隨時(shí)查看實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)和歷史數(shù)據(jù)，方便、直觀、精準(zhǔn)。