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MPM4530 壓力變送器應(yīng)用領(lǐng)域

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MPM4530 壓力變送器應(yīng)用領(lǐng)域 MPM4530、MPM4528、MPM489B、MDM3051GP、MDM3051AP、MDM3051GP/DP、MDM4951GP、MDM4951AP、MPM380、MDM390、MPM490、MPM486、MSB9418、MSB9438、MPM4700

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MPM4530 壓力變送器應(yīng)用領(lǐng)域

1、什么是硅諧振式傳感器？它是如何工作的？MPM4530 壓力變送器應(yīng)用領(lǐng)域硅諧振式傳感器是日本橫河公司EJA智能變送器中的敏感元件。它是一種微型構(gòu)件，體積小，功耗低，響應(yīng)快，便于和信號(hào)處理部分集成。如圖中所示為硅諧振式傳感器中的核心部分——硅諧振梁結(jié)構(gòu)。它是在一塊單晶硅芯片上，采用三維表面微機(jī)械加工技術(shù)，加工成形狀大小*相同的兩個(gè)H型諧振梁，一個(gè)在硅片的*，另一個(gè)在硅片的邊緣。當(dāng)硅片受到壓力作用時(shí)，將產(chǎn)生應(yīng) 變和應(yīng)力，兩個(gè)諧振梁也伴隨膜片產(chǎn)生相應(yīng)的應(yīng)力。但由于它們?cè)谀て纤幍奈恢貌煌?，它們的?yīng)力是不一樣的，一個(gè)受壓，一個(gè)受拉，于是它們的諧振固有頻率也就發(fā)生變化。利用測(cè)量?jī)蓚€(gè)諧振梁的頻率之差，即可得到被測(cè)介質(zhì)的壓力或壓差。硅諧振式傳感器中的硅梁、規(guī)膜片、空腔被封在微型真空中，使它既不能與充灌液接觸，又在振動(dòng)時(shí)不受空氣阻力的影響，所以用它制成的儀表性能穩(wěn)定。

2、在EJA智能變送器中，通過(guò)何種方法激勵(lì)硅諧振子的振動(dòng)和拾取其信號(hào)？在EJA智能變送器中，硅梁振動(dòng)的激勵(lì)與信號(hào)的拾取是通過(guò)電磁的方式實(shí)現(xiàn)的。如圖所示，硅諧振梁處于*磁鐵提供的磁場(chǎng)中，通過(guò)激振線圈A的交變電流i 激發(fā)H型硅梁振動(dòng)，并由拾振線圈B感應(yīng)后送入自動(dòng)增益放大器。放大器一方面輸出頻率，另一方面將交流電流信號(hào)反饋給激振線圈，形成一個(gè)正反饋閉環(huán)自激系統(tǒng)，從而維持硅梁連續(xù)等幅振動(dòng)。

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