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MPM4530 壓力變送器 應(yīng)用領(lǐng)域

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更新時(shí)間:2016-06-14 17:22:38瀏覽次數(shù):264次

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:2563條

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詳細(xì)介紹

MPM4530 壓力變送器 應(yīng)用領(lǐng)域

1、什么是硅諧振式傳感器?它是如何工作的?MPM4530 壓力變送器 應(yīng)用領(lǐng)域     硅諧振式傳感器是日本橫河公司EJA智能變送器中的敏感元件。它是一種微型構(gòu)件,體積小,功耗低,響應(yīng)快,便于和信號(hào)處理部分集成。如圖中所示為硅諧振式傳感器中的核心部分——硅諧振梁結(jié)構(gòu)。它是在一塊單晶硅芯片上,采用三維表面微機(jī)械加工技術(shù),加工成形狀大小*相同的兩個(gè)H型諧振梁,一個(gè)在硅片的*,另一個(gè)在硅片的邊緣。當(dāng)硅片受到壓力作用時(shí),將產(chǎn)生應(yīng) 變和應(yīng)力,兩個(gè)諧振梁也伴隨膜片產(chǎn)生相應(yīng)的應(yīng)力。但由于它們?cè)谀て纤幍奈恢貌煌?,它們的?yīng)力是不一樣的,一個(gè)受壓,一個(gè)受拉,于是它們的諧振固有頻率也就發(fā)生變化。利用測(cè)量?jī)蓚€(gè)諧振梁的頻率之差,即可得到被測(cè)介質(zhì)的壓力或壓差。       硅諧振式傳感器中的硅梁、規(guī)膜片、空腔被封在微型真空中,使它既不能與充灌液接觸,又在振動(dòng)時(shí)不受空氣阻力的影響,所以用它制成的儀表性能穩(wěn)定。 

2、在EJA智能變送器中,通過(guò)何種方法激勵(lì)硅諧振子的振動(dòng)和拾取其信號(hào)?    在EJA智能變送器中,硅梁振動(dòng)的激勵(lì)與信號(hào)的拾取是通過(guò)電磁的方式實(shí)現(xiàn)的。如圖所示,硅諧振梁處于*磁鐵提供的磁場(chǎng)中,通過(guò)激振線圈A的交變電流i 激發(fā)H型硅梁振動(dòng),并由拾振線圈B感應(yīng)后送入自動(dòng)增益放大器。放大器一方面輸出頻率,另一方面將交流電流信號(hào)反饋給激振線圈,形成一個(gè)正反饋閉環(huán)自激系統(tǒng),從而維持硅梁連續(xù)等幅振動(dòng)。

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