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北京東方中科集成科技股份有限公司


H系列 手動探針臺

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更新時間：2024-03-30 14:16:41瀏覽次數(shù)：154次

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經營模式：代理商

商鋪產品：1496條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：東方集成 （市場推廣）

產品簡介

SEMISHARE研發(fā)的卡盤移動技術，可滿足您對整片晶圓快速測試的需求，H系列探針臺非常適合研發(fā)類實驗室的一次性預算購置。

詳細介紹

SEMISHARE研發(fā)的卡盤移動技術，可滿足您對整片晶圓快速測試的需求，H系列探針臺非常適合研發(fā)類實驗室的 一次性預算購置。

 

產品亮點：H系列手動探針臺

 

  • 三段式可升降針座平臺
  • 便于定位，快速分離樣針
  • 標配金相顯微鏡，達到1μm以上的Pad測試
  • 可搭載激光器進行FA失效分析/激光切割
  • 氣控式卡盤移動技術，可快速拉出卡盤

 

產品參數(shù)：H系列手動探針臺

 

卡盤移動平臺（標準配置）

XY行程范圍 150mm*150mm/200mm*200mm/300 mm x 300 mm
XY行程 300mm x 300 mm（滿足大范圍行程測試）
移動精度/分辨率 < 1.0 µm (~1 mm/rev)
平面性 ±5µm
theta行程 粗調：360°
微調精度：± 8.0°
分辨率：7.5 x 10-3 gradient
運動控制 氣控+大手柄控制
Z軸快速升降 快速升降：3mm
微調升降：0-13mm,精度：≤2µm

 

手動顯微鏡平臺

移動范圍 50 mm x 50 mm
移動分辨率 ≤2µm
顯微鏡Z升降 25mm-100mm *取決于顯微鏡配置
氣動升降50mm
運動控制 獨立控制的X和Y旋鈕

 

針座平臺

材料 鋼鍍鎳
針座數(shù)量 8 DC and 4 RF(取于針座配置)
卡盤到針座平臺下底面距離 8mm（卡盤上表面與針座平臺下表面）
Z-height運動范圍 Max.0-40mm (取于卡盤配置)
針座平臺升降 3段：分離(300µm)，卡盤裝載(2-5mm),不間斷升降（0-40mm)
接觸重復性 < ±1µm
RF 針座固定 磁力吸附/真空吸附
DC 針座固定 磁力吸附/真空吸附

（*規(guī)格和設計如有更改，恕不另行通知。）


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