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FT9500系列/FT9500X系列高性能X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

搭載了新型X射線聚光系統(tǒng)（毛細(xì)管），可發(fā)射實(shí)際照射直徑為30um的高亮度X射線?？蓪?duì)引腳架、連接器、靈活基板、微型薄膜進(jìn)行檢測(cè)。

詳細(xì)介紹

X射線發(fā)生系統(tǒng)是X射線聚光系統(tǒng)(聚光導(dǎo)管)與X射線管相結(jié)合，從而在FT9500上產(chǎn)生光斑直徑為Φ0.1mm以下高強(qiáng)度的X射線束。
在FT9500X中，我們開(kāi)發(fā)了新型X射線聚光導(dǎo)管(單毛細(xì)管)，實(shí)現(xiàn)了FT最小的實(shí)際照射約為Φ30μm的高強(qiáng)度X光束照射。
為此，可以對(duì)以往由于X射線照射強(qiáng)度不足而導(dǎo)致無(wú)法得到理想精度的導(dǎo)線架、接插件、柔性線路板等微小零件及極薄鍍層進(jìn)行測(cè)量。

高性能X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x FT9500系列/FT9500X系列特長(zhǎng)

X射線發(fā)生系統(tǒng)采用了聚光導(dǎo)管
因?yàn)椴捎昧薠射線聚光導(dǎo)管方式，所以可以得到以往10倍以上的X射線強(qiáng)度，從而可以提高微小樣品的膜厚測(cè)量及有害物質(zhì)測(cè)量的精度。
不需液氮的半導(dǎo)體檢測(cè)器
在進(jìn)行薄膜測(cè)量時(shí)，高分辨率的檢測(cè)器是必*。FT9500的檢測(cè)器不但可以達(dá)到高分辨率而且可以實(shí)現(xiàn)高計(jì)數(shù)率。同時(shí)，由于使用了電子冷卻方式，所以無(wú)需液氮。
Φ30μm高強(qiáng)度X光束照射
FT9500X作為聚光導(dǎo)管方式的鍍層測(cè)量?jī)x，可進(jìn)行達(dá)Φ30μm高強(qiáng)度X光束照射。另外，與FT9500相比，僅相當(dāng)過(guò)去約10%的照射面積即可進(jìn)行同等精度的測(cè)量。
多鍍層的厚度測(cè)量
FT9500可以同時(shí)對(duì)納米等級(jí)的電子材料上多鍍層的各層厚度進(jìn)行測(cè)量，最多五層鍍層及組成。

高性能X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x FT9500系列/FT9500X系列規(guī)格

?	FT9500系列	FT9500X系列
測(cè) 量元素	原子序數(shù)13 (Al)～83 (Bi)
X 射線管	管電壓：50kV 管電流：1mA
檢測(cè) 器	半導(dǎo)體檢測(cè)器(無(wú)液化氮)
X 射線聚光	聚光導(dǎo)管方式
X射線照射尺寸	Φ0.1mm	Φ30μm
樣品觀察	CCD攝像頭(帶變焦功能)
對(duì) 焦	激光對(duì)焦
一次濾波器(電動(dòng)切換)	選購(gòu)項(xiàng)	有
X-ray Station	電腦 (OS: Windows) 19英寸液晶顯示屏
打印機(jī)	噴墨打印機(jī)(選購(gòu)項(xiàng))
鍍層厚度測(cè)量軟件	薄膜FP法(5層、各層10種元素) 標(biāo)準(zhǔn)曲線法(單層、雙層、合金鍍層成分)
定量分析軟件	塊體FP法、塊體標(biāo)準(zhǔn)曲線法	無(wú)
測(cè) 量功能	自動(dòng)測(cè)量、中心搜索、圖像處理
修正功能	底材修正、已知樣品修正
定性功能	KLM標(biāo)記功能、比較顯示
統(tǒng)計(jì)處理功能	配備MS-EXCEL?
報(bào)告生成功能	配備MS-WORD?
安全功能	樣品門聯(lián)鎖防沖撞功能
使用電源	100V/15A 帶地線的3孔插座