精密氣體流量計用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

精密氣體流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD），一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質(zhì)中時，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個恒定的溫度，

另一個溫度傳感器用于感應介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。

精密氣體流量計的使用：

1. 熱探頭與流體間的對流換熱對流換熱a包括受迫對流換熱和自然對流換熱。假設流管橫置，熱探頭壁面與流體溫差為60*C，則當流體流速大于1m/s時，G/e2<0.1，此時自然對流換熱與由于流體運動所導致的受迫對流換熱相比十分微弱。實際測量中G/2<<1，可以忽略自然對流換熱的影響。

2. 熱探頭向測量桿構(gòu)架的導熱02隨著構(gòu)架材料導熱系數(shù)的不同，精密氣體流量計規(guī)格，02差別很大。在探頭設計中，盡可能采用導熱系數(shù)小的材料制造構(gòu)架并采用絕熱、絕緣硅膠對探頭密封以減少導熱量。導熱量02計算公式如下：，dt A一桿構(gòu)架的橫截面積；A―桿構(gòu)架導熱系數(shù)。

3. 流量計熱探頭向周圍的輻射換熱03熱探頭表面溫度為，它要向氣流和另一個探頭進行輻射換熱。將探頭表面磨光或鍍上一層**率小的金屬并使其溫度保持在100*C之內(nèi)，精密氣體流量計排名，以減小輻射換熱。根據(jù)輻射換熱公式：一斯特藩一波爾茲曼常數(shù)。

4.一探頭外表面面積；一熱探頭溫度；T：來流溫度。