氣體流量傳感器應(yīng)用廣泛，極大的影響著社會各行各業(yè)的發(fā)展。如工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)實驗、保證產(chǎn)品質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率、節(jié)約能源、促進科技的發(fā)展等方面起著重要作用。
氣體流量傳感器測量被測流體工作狀態(tài)下的體積流量，測量原理中不涉及流體的溫度、壓力、密度和粘度的影響。其分類如下:
1.氣體流量傳感器物理量可分為位移、力、速度、溫度、流量、氣體成份等氣體流量傳感器
2.氣體流量傳感器按工作原理可分為應(yīng)變式、壓電式、壓阻式、電感式、電容式、光電式、電阻、電容、電感、電壓、霍爾、光電、光柵、熱電偶等氣體流量傳感器。
3.氣體流量傳感器按輸出信號的性質(zhì)可分為:輸出為開關(guān)量("1"和"0"或"開"和"關(guān)")的開關(guān)型氣體流量傳感器;輸出為模擬型氣體流量傳感器;輸出為脈沖或代碼的數(shù)字型氣體流量傳感器。
4.氣體流量傳感器按轉(zhuǎn)換能量的方式分:
1)能量轉(zhuǎn)換型:如:壓電式、熱電偶、光電式傳感器等;
2)能量控制型:如:電阻式、電感式、霍爾式等傳感器以及熱敏電阻、光敏電阻、濕敏電阻等;
5.氣體流量傳感器按照工作機理可分為:
1)結(jié)構(gòu)型:如:電感式、電容式傳感器等;
2)物性型:如:壓電式、光電式、各種半導(dǎo)體式傳感器等;
6.氣體流量傳感器按輸出信號的形式可分為:
1)模擬式:傳感器輸出為模擬電壓量;
2)數(shù)字式:傳感器輸出為數(shù)字量，如:編碼器式傳感器。
氣體流量傳感器應(yīng)用廣泛，種類繁多，分類方式也多種多樣。
