當前，壓力傳感器應用非常廣泛，但超低溫壓力傳感器一般只在軍事和科研上使用。尤其是在軍事上，對壓力傳感器的要求非常苛刻。目前軍用低溫壓力傳感器普遍可以在-200℃環(huán)境下穩(wěn)定工作，性能上需拓展。

 

　　為此，*公司九院704所自2009年起，開始研制超低溫壓力傳感器和超低溫脈動壓力傳感器。

 

　　據(jù)資料，該低溫型脈動壓力傳感器屬于電阻應變式壓力傳感器。傳感器采用離子束濺射薄膜技術，在金屬膜片上直接生成電介質(zhì)隔離膜和功能材料電阻膜（薄膜應變電阻），在電阻膜上制作應變電阻，組成惠斯通電橋。當被測介質(zhì)的壓力發(fā)生變化時，應變電阻阻值也隨之變化，從而使傳感器輸出電壓值發(fā)生變化。傳感器金屬膜片上還制備了一個測溫電阻，通過測溫電阻，當傳感器的工作環(huán)境溫度發(fā)生變化時，測溫電阻阻值也隨之變化，并提供給變換器，通過變換器獲取工作環(huán)境溫度。低溫型脈動壓力傳感器系統(tǒng)具有使用測量低溫區(qū)寬的特點，傳感器使用溫度范圍為-253℃~ 60℃(液氫溫度)；測量范圍：(0～60)）MPa。

 

　　研制團隊攻克了多項關鍵設計技術及工藝技術，用4年時間在國內(nèi)解決了液氫溫度壓力傳感器的校準難題。通過多次試車，于日前參加飛行任務并獲圓滿成功。該型壓力傳感器用于測量新一代運載火箭發(fā)動機入口推進劑輸送管脈動壓力。該產(chǎn)品的首飛成功表明該所航天壓力傳感器的低溫工作溫度已經(jīng)拓寬到液氫溫度環(huán)境，提升了壓力傳感器專業(yè)水平。未來將為我國新一代運載火箭的研制作出重要貢獻。