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閱讀：12發(fā)布時(shí)間：2024-11-23
初識(shí)軟X射線及極紫外光譜
軟X射線（Soft X-Ray）與極紫外( eXtreme UV) 波段的光譜技術(shù)給科學(xué)和技術(shù)提供了其他波段所不能及的豐富機(jī)會(huì) 。此波段光輻射的波長(zhǎng)要比可見(jiàn)光或紫外輻射短很多 ，因此用這個(gè)波段的顯微技術(shù)可以看到更小的結(jié)構(gòu)紫外光譜怎么分析，用這個(gè)波段的光刻可以寫(xiě)下更精細(xì)的圖案 。 軟 X 射線／極紫外譜區(qū)中的光子能量基本上與幾乎所有元素的主要共振線匹配 ；雖然在材料中的吸收長(zhǎng)度非常短（典型為1微米或更短），但是正是這個(gè)波段為元素和化學(xué)分析提供了非常精確的方法，例如在表面科學(xué)和環(huán)境科學(xué)中廣泛使用軟X射線-極紫外光來(lái)進(jìn)行元素分析和化學(xué)分析。
特定的波段造就光譜儀設(shè)計(jì)的性
XUV ～ Soft X-Ray
極紫外-軟X射線波段不能在空氣中傳播，同時(shí)材料的反射、透射特性均和可見(jiàn)光波段有非常大的不同。因此極紫外-軟X射線光譜儀設(shè)計(jì)非常特殊：
針對(duì)嚴(yán)苛的要求
美國(guó)mcpherson公司可提供解決方案
美國(guó)McPherson 公司位于美國(guó)麻省，在光柵光譜儀及光譜系統(tǒng)方面具備逾60年的設(shè)計(jì)制造經(jīng)驗(yàn)，尤其在軟X射線-真空紫外波段光柵光譜以及長(zhǎng)焦距、大口徑快速光譜、級(jí)聯(lián)光譜儀方面提供業(yè)界的技術(shù)指標(biāo)，并在各類(lèi)研究領(lǐng)域享有盛名。同時(shí)McPherson 提供軟X射線 - 遠(yuǎn)紅外的光源及探測(cè)器、真空狹縫/快門(mén)/濾光片輪/反射式匯聚器等核心部件，以及全波段透射/反射/吸收/熒光/拉曼/光度學(xué)與輻射度學(xué)測(cè)試系統(tǒng)。
輕松探秘極紫外光譜紫外光譜怎么分析，讓神秘不再
極紫外光源診斷
垂直安裝的McPherson 248/310 光譜儀與 Andor‐Technology DO420BN‐995 直接探測(cè)相機(jī)CCD:
XAPPER光源位于LLNL，全稱(chēng)“射頻預(yù)電離氙氣Z-箍束光源"，目標(biāo)是為了光刻、損傷測(cè)試、解離與燒蝕提供新一代光源，采用一臺(tái)248/310與一臺(tái)Andor CCD測(cè)量光譜。
部分典型光譜如下:
高次諧波探測(cè)
McPherson 248/310 掠入射光譜儀與MCP探測(cè)器以及Andor DH420A-FO相機(jī):
在這種架構(gòu)中MCP與羅蘭圓相切，以獲得探測(cè)器面陣上聚焦。MCP探測(cè)器具備光增益功能，更可以加以門(mén)控，并和實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)同步。MCP采用光纖錐與CCD耦合。 (UNM)
高次諧波光譜圖樣，利用McPherson 248/310譜儀，MCP耦合的Andor相機(jī)在不同中心波長(zhǎng)位置拍攝 (Max‐ Planck‐Institut).
掃描模式拍得的高次諧波光譜 (Friedrich‐Schiller‐University)
除此之外，248/310 還廣泛用于
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