洗凈用高純度濕式化學(xué)品

HCl/H₂O₂/H₂O(SC2):

利用雙氧水氧化污染的金屬，而HCL與金屬離子生成可溶性的氯化物而溶解。

HCl:H₂O₂:H₂O=1:1:6，在70度下進(jìn)行5~10分鐘的清洗；

SC1、SC2標(biāo)準(zhǔn)溶液都屬于RCA制程

 H₂SO4/H₂O₂(Piranha Clean, Caro Clean):

利用硫酸及雙氧水的強(qiáng)氧化性和脫水性破壞有機(jī)物的碳?xì)滏I，去除有機(jī)不純物。

H₂SO₄:H₂O₂=2~4:1，在130度高溫下進(jìn)行10~15分鐘的浸泡。

光刻用高純度濕式化學(xué)品

光阻-樹脂、感光劑、溶劑

光阻稀釋液-PGMEA PGME，清除晶圓殘余光阻

顯影劑-TMAH TEAH

美國(guó)EMC公司成立于1946年，作為一家高科技公司，從成立至今，EMC一直專業(yè)從事在線硫酸濃度儀的研究開發(fā)和制造工作，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。1952年，EMC推出自己的*臺(tái)在線臨界角TMAH濃度儀，用于檢測(cè)TMAH溶液濃度。MPR E-Scan是EMC推出的TMAH在線濃度儀，因?yàn)椴捎门R界角測(cè)量的技術(shù)，它非常適合于各類化工液體產(chǎn)品如TMAH、TMACL、H2SO4、H2O2、氨水等的過(guò)程濃度測(cè)試。因?yàn)榫哂胸S富多樣的安裝適配器，MPR E-Scan適合于安裝于幾乎任何場(chǎng)所。

MPR E-Scan是一個(gè)微處理器驅(qū)動(dòng)的臨界角濃度儀，因?yàn)椴捎梅煮w式設(shè)計(jì)，將儀器CPU和主要電路板與光學(xué)部分分離，使系統(tǒng)更耐高溫和振動(dòng)、穩(wěn)定性更好、測(cè)試更準(zhǔn)確、有效使用壽命更長(zhǎng)。它能在即時(shí)顯示產(chǎn)品濃度值的同時(shí)，將該濃度值傳輸?shù)较到y(tǒng)，便于系統(tǒng)集成控制。

臨界角在線TMAH濃度儀 MPR E-Scan能直接安裝在管道或者容器上，進(jìn)行濃度的測(cè)量和控制。它能直接顯示出：質(zhì)量百分比濃度(Percent)、固形物含量(Solids)或(R.I.)等。它的高可靠性和高精度能為用戶的過(guò)程控制直接創(chuàng)造價(jià)值。