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壓力/差壓變送器

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更新時間：2024-11-18 17:31:32瀏覽次數(shù)：106次

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紫龍雄宇科技（北京）有限公司

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產(chǎn)品簡介

簡單介紹： EJA壓力/差壓變送器具有世界開創(chuàng)—單晶硅諧振傳感器。高精度： 0.075%, 連續(xù)工作五年不需調(diào)校, 溫度影響可忽略不計(jì), 靜壓影響可忽略不計(jì)。單向過壓影晌：連續(xù)10萬次單向過壓實(shí)驗(yàn)后影晌量

詳細(xì)介紹

壓力/差壓變送器產(chǎn)品簡介

智能變送器是日本橫河電機(jī)株式會社九十年代中期*新推出的產(chǎn)品，采用真正的數(shù)字化傳感器—單晶硅諧振式傳感器，開創(chuàng)了變送器的新時代，產(chǎn)品具有更高的精度、穩(wěn)定性、可靠性，自推向市場，深受各界好評。為迎接現(xiàn)場總線時代的來臨，我們已推出經(jīng)基金會測試認(rèn)證的符合FF 標(biāo)準(zhǔn)的現(xiàn)場總線變送器。

壓力/差壓變送器的工作原理

圖1　硅諧振梁的結(jié)構(gòu)

采用微電子加工技術(shù)（MEMS)在一個單晶硅芯片表面的中心和邊緣制作兩個形狀、尺寸、材質(zhì)一致的Ｈ形狀的諧振梁，諧振梁在自激振蕩回路中作高頻振蕩（如圖1）。單晶硅片的上下表面受到的壓力不等時，將產(chǎn)生形變，導(dǎo)致中心諧振梁因壓縮力而頻率減小，邊緣諧振因受拉伸力而頻率增加（如圖２）。
兩頻率之差信號直接送到CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，然后（１）經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換成4-20mA輸出信號，通訊時疊加Brain或Hart數(shù)字信號；（２）直接輸出符合現(xiàn)場總線（Fieldbus Foundation TM）標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字信號。

圖２　諧振式傳感器頻率輸出

優(yōu)異的性能壓力/差壓變送器

靜壓影響忽略不計(jì)
當(dāng)加有靜壓（工作壓力）時，兩形狀、尺寸、材質(zhì)一致的諧振梁形變相同，故頻率變化也一致，故偏差自動**（公式和圖類似溫度影響）。
單向過壓特性優(yōu)異
接液膜片與膜盒本體采用**的波紋加工技術(shù)，使外部壓力增大到某一數(shù)值時，接液膜片能與本體接觸，硅油傳遞給傳感器的壓力不再隨外力的增加而增加，從而達(dá)到對傳感器的保護(hù)作用。（圖4）、（圖5）所示為ＥＪＡ過壓特性。