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自動白光干涉儀

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號SIS 2000

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地南京市

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更新時間:2018-05-15 14:34:53瀏覽次數(shù):806次

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中國儀器超市的白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術,是專為準確測量表面輪廓、粗糙度、臺階高度和其他表面參數(shù)而設計的微納米測量系統(tǒng),,為韓國SAMSUNG*供應商,LPL友好俱樂部成員,清華大學,中國臺灣大學,首爾大學友好合作伙伴。

 

基本信息
品牌: SNU 型號: SIS 2000 操作方式: 自動
功能: 檢測、觀察、分析 精度 : 1nm
其它型號:
SIS 1200  
  電子型錄(宣傳冊)下載    標準報價單下載
產(chǎn)品介紹
    白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術,是專為準確測量表面輪廓、粗糙度、臺階高度和其他表面參數(shù)而設計的微納米測量系統(tǒng),,為韓國SAMSUNG*供應商,LPL友好俱樂部成員,清華大學,中國臺灣大學,首爾大學友好合作伙伴。
產(chǎn)品特點
1、非接觸式測量:避免物件受損。
2、三維表面測量:表面高度測量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率:垂直分辨率可以達到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號處理器:實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀:采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺:氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件:基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面,強大而快速的運算。
 
技術參數(shù)
 
機型
SIS 2000
工作臺
尺寸
350mm×350mm
傾斜度
±3 °
測量行程
X:200mm   Y:200mm
Z軸行程
100mm
運動方式
自動,馬達驅動
掃描速度
30μm/sec
垂直分辨率
0.1nm
CCD
黑白CCD, 640×480 像素
物鏡安裝架
手動 5個位移的可定位夾具
鏡頭選配
鏡頭:5×、10×、20×、50×
應用領域
1、TFT產(chǎn)業(yè)
2、半導體
3、MEMS
4、高??蒲?br />5、精密加工
附件
水準測量器、旋轉臺、CCD、鏡頭、LED光源、掃描控制盒、PZT傳感器、光源控制器等
 

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