質(zhì)量保證 膜厚測(cè)試儀X射線衍射裝置

  具體地說(shuō),比如用不同的裝置測(cè)定食鹽（NaCl）時(shí),從螢光X射線裝置得到的信息為此物質(zhì)由鈉（Na）和氯（Cl）構(gòu)成,而從X射線衍射裝置得到的信息為此物質(zhì)由（NaCl）的結(jié)晶構(gòu)成。單純地看也許會(huì)認(rèn)為能知道結(jié)晶狀態(tài)的X射線衍射裝置（XRD為好,但當(dāng)測(cè)定含多種化合物的物質(zhì)時(shí)只用衍射裝置（XRD）就很難判定,必須先用螢光X射線裝置（XRF）得到元素信息后才能進(jìn)行定性。
主要特點(diǎn)

   ★ 自動(dòng)對(duì)焦功能 。配備激光自動(dòng)對(duì)焦功能，能夠準(zhǔn)確對(duì)焦，提高測(cè)量效率。

　　★ 具有焦點(diǎn)距離切換功能，適用于有凹凸的機(jī)械部件與電路板的底部進(jìn)行測(cè)量

　　★ 采用檢量線法和FP法，兩個(gè)準(zhǔn)直器可自動(dòng)切換，采用激光自動(dòng)對(duì)焦，并配備有Z軸防沖撞傳感器，可防止在對(duì)焦時(shí)造成的損壞。

　　★ 選用Mo靶材X射線管，測(cè)量貴金屬更靈敏。

　　★ 支持多種語(yǔ)言的軟件系統(tǒng)。簡(jiǎn)體中文、繁體中文、英語(yǔ)、日語(yǔ)、韓語(yǔ)

　　★ 搭載樣品尺寸的兼容性可適用于各種樣品，能夠通過(guò)一臺(tái)儀器測(cè)量，從電子部件、電路板到機(jī)械部件等高度較高的樣品，從較厚的樣品（機(jī)械零部件）之大型線路板（PCB）及電子元器件等

　　★ 鹵素?zé)粽彰?/p>

　　★即時(shí)生成測(cè)量報(bào)告的便捷性 。運(yùn)用搭載的Microsoft Word? Excel? 可以簡(jiǎn)單輕松得到制作報(bào)告

　　★ 多種修正功能?；男拚?、已知樣品修正、人工輸入修正

　　★ 搭載了電動(dòng)X－Y移動(dòng)平臺(tái)

質(zhì)量保證 膜厚測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)：

　 儀器的特長(zhǎng)：廣泛應(yīng)用型

　　可測(cè)元素：Ti～U

　　X射線管：小型空氣冷卻型高功率X射線管球（W靶）管電壓：45kV 管電流：1mA Be窗

　　濾波器：

　　一次濾波器：A1-自動(dòng)切換

　　二次濾波器：Co-自動(dòng)切換

　 檢測(cè)器：比例計(jì)數(shù)管

　　樣品觀察：CCD攝像機(jī)

　　對(duì)焦方式：激光自動(dòng)對(duì)焦

　　測(cè)定軟件：薄膜FP法、檢量線法

　　5個(gè)準(zhǔn)直器可自動(dòng)切換

　　型（Φ0.1、Φ0.2、Φ0.3mm）

　　型（0.2×0. 05 mm、0.05×0.02 mm）

　　安全機(jī)能：測(cè)量室門自鎖功能

　　Z軸防沖撞功能

　　儀器自診斷功能

質(zhì)量保證 膜厚測(cè)試儀原理

  采用磁感應(yīng)原理時(shí)，利用從測(cè)頭經(jīng)過(guò)非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小，來(lái)測(cè)定覆層厚度。也可以測(cè)定與之對(duì)應(yīng)的磁阻的大小，來(lái)表示其覆層厚度。覆層越厚，則磁阻越大，磁通越小。利用磁感應(yīng)原理的測(cè)厚儀，原則上可以有導(dǎo)磁基體上的非導(dǎo)磁覆層厚度。一般要求基材導(dǎo)磁率在500以上。如果覆層材料也有磁性，則要求與基材的導(dǎo)磁率之差足夠大（如鋼上鍍鎳）。當(dāng)軟芯上繞著線圈的測(cè)頭放在被測(cè)樣本上時(shí)，儀器自動(dòng)輸出測(cè)試電流或測(cè)試信號(hào)。早期的產(chǎn)品采用指針式表頭，測(cè)量感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)的大小，儀器將該信號(hào)放大后來(lái)指示覆層厚度。近年來(lái)的電路設(shè)計(jì)引入穩(wěn)頻、鎖相、溫度補(bǔ)償?shù)鹊匦录夹g(shù)，利用磁阻來(lái)調(diào)制測(cè)量信號(hào)。還采用設(shè)計(jì)的集成電路，引入微機(jī)，使測(cè)量精度和重現(xiàn)性有了大幅度的提高（幾乎達(dá)一個(gè)數(shù)量級(jí)）?，F(xiàn)代的磁感應(yīng)測(cè)厚儀，分辨率達(dá)到0.1um，允許誤差達(dá)1%，量程達(dá)10mm。