蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司
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蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司
產(chǎn)品型號(hào)MFC330
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地蘇州市
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更新時(shí)間：2025-02-17 10:47:45瀏覽次數(shù)：77次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 儀表網(wǎng)| 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 質(zhì)保 | 1年 |
MFC330熱式氣體質(zhì)量流量控制器 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測(cè)氣體進(jìn)入后，先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng)，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
熱式氣體質(zhì)量流量控制器
MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測(cè)氣體進(jìn)入后，先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng)，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
產(chǎn)品特點(diǎn)
精準(zhǔn)質(zhì)量流量測(cè)量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大：0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟(jì)有效的解決方案
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測(cè)量范圍 0.5%F.S.（1:200）
控制范圍 1%-1 00% FS.（1:100）
準(zhǔn)確度 ±1% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應(yīng)時(shí)間 <3 秒
預(yù)熱時(shí)間 5 min（T95），30 分鐘
閥門 常閉式
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