河南諾巴迪材料科技有限公司
產(chǎn)品型號NBD-O1200-T5G5
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地鄭州市
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更新時間:2024-08-13 17:11:45瀏覽次數(shù):199次
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適用領(lǐng)域 | 其他 |
多溫區(qū)CVD系統(tǒng)一體爐,供氣和真空系統(tǒng)靈活組合,滿足各類薄膜沉積,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù),包括大面積的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。諾巴迪成套的CVD鍍膜系統(tǒng),適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)??茖W(xué)等領(lǐng)域。
多溫區(qū)管式爐設(shè)備特點:
1、采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管,耐腐蝕耐高溫性能好;
2、高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,保溫效果好,降低設(shè)備功耗;
3、爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝,自動抬升系統(tǒng)開啟上蓋;
4、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置;
5、可預(yù)約燒結(jié),實現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié);
6、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實現(xiàn)無紙記錄;
7、具有實現(xiàn)遠程操控,實時觀測設(shè)備狀態(tài);
8、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進行非線性修正;
9、一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng),多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)。
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