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P11.XZ二維XZ向壓電納米定位臺(tái) 100μm價(jià)格P11系列壓電納米定位臺(tái)為小體積1~3維壓電平移臺(tái)，P11.XZ為二維壓電納米定位臺(tái)，平臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，多維運(yùn)動(dòng)無(wú)耦合。 機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級(jí)。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺(tái)具有控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)，壓電定位臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響，壓電定位臺(tái)體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。
P11.XZ二維XZ向壓電納米定位臺(tái) 100μm價(jià)格
大行程、閉環(huán)版本定位精度高、響應(yīng)速度快 | 傳感器類型 | 頻率負(fù)載曲線 | |
P11系列納米定位臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，可以實(shí)現(xiàn)1~3維100μm的精密運(yùn)動(dòng)。 該系列壓電納米定位臺(tái)可以選擇開(kāi)環(huán)或閉環(huán)版本， 閉環(huán)版本采用高精度傳感器對(duì)位置進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)反饋，配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列閉環(huán)壓電控制器可以實(shí)時(shí)對(duì)位移進(jìn)行精密調(diào)整，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位控制。 P11系列壓電納米定位臺(tái)的響應(yīng)速度快，配套E52系列壓電控制器可實(shí)現(xiàn)0.8ms的階躍時(shí)間。 |
