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XP-62X一維X向壓電納米定位臺 15μm-60μmXP-62X系列壓電納米定位臺是采用封裝型壓電促動器直接驅(qū)動，具有大承載、響應(yīng)速度快、可靠性高和使用壽命長等優(yōu)點(diǎn)。內(nèi)置高分辨率SGS傳感器進(jìn)行全閉環(huán)運(yùn)動控制，高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺適用于精密加工等領(lǐng)域。
XP-62X一維X向壓電納米定位臺 15μm-60μm
特性
• 大行程60μm • 亞毫秒響應(yīng)時間 • 大承載10kg • 1~3維自由組合 • 重復(fù)定位精度可達(dá)0.05%F.S.
1~3維平移 | 產(chǎn)品外觀 | 直驅(qū)機(jī)構(gòu)式驅(qū)動示意圖 |
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大負(fù)載、高剛度、高諧振頻率、高穩(wěn)定性 | 傳感器類型 | 頻率負(fù)載曲線 |
XP-62X系列壓電納米定位臺采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，優(yōu)異的柔性鉸鏈設(shè)計，具有高剛度、高頻響等特點(diǎn)，剛度可達(dá)40N/μm，空載諧振頻率高達(dá)4.2kHz，適用于需要大負(fù)載、高頻率需求的應(yīng)用，如電化學(xué)加工等。 |
