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P63.X一維X向壓電納米定位臺 6.8μm價格 P63.X直驅(qū)壓電平移臺,是一維X軸運動壓電納米定位臺,采用壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)的設(shè)計原理,具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點,配置高精度傳感器,可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度,具有非常高的可靠性,壓精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著重要的作用。
P63.X一維X向壓電納米定位臺 6.8μm價格
特性
• 1~3維自由組合 • 位移行程6.8μm • 亞毫秒響應時間 • 承載0.8kg • 重復定位精度可達納米級
小體積、高精度、響應速度快 | 傳感器類型 | 頻率負載曲線 | |
P63系列壓電納米定位臺的特點是高精度且體積小巧,P63.X一維壓電納米定位臺的尺寸僅為30×30×21mm(XYZ軸三維運動壓電納米定位臺尺寸為30×30×42mm),非常易于集成到掃描儀器中。 P63系列納米定位臺是高精密納米定位系統(tǒng),是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應用而設(shè)計的,具有低慣性,響應時間可達0.3ms,可配置高精度閉環(huán)傳感器進行高分辨率的高速掃描。 |
應用 • 光纖端面檢測 • 納米壓印 • 納米計量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術(shù)/半導體技術(shù) •質(zhì)量保證測試 •微加工/精密控制 |