芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺?     

P78系列壓電掃描臺為一維Z軸運(yùn)動平臺，壓電平臺中心方形通孔尺寸為64×64mm，放大機(jī)構(gòu)內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn) Z軸210μm或300μm的位移行程，優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)具有超高的定位精度，適用于需要大行程精密定位的應(yīng)用領(lǐng)域。

P78壓電掃描臺特性：

• Z軸運(yùn)動         •  開環(huán)閉環(huán)可選        • 大行程300μm    • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高   

芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺典型應(yīng)用           

• 顯微成像 • 表面檢測

• 干涉/計(jì)量 • 精密定位

• 生物技術(shù) • 微操作

大通孔、大位移、高分辨、高精度

P78系列壓電掃描臺，采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，可以實(shí)現(xiàn) Z軸210μm或300μm的位移行程。優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu) 采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化實(shí)現(xiàn)納米級的分辨率、毫秒級的響應(yīng) 時間。

P78系列壓電掃描臺可選擇配置閉環(huán)傳感器，對位移實(shí)現(xiàn) 實(shí)時監(jiān)測并反饋給閉環(huán)壓電控制器，實(shí)現(xiàn)納米級精密控制。掃 描臺臺體中心通孔尺寸64×64mm，適用于干涉、掃描、表面 檢測等應(yīng)用。

閉環(huán)重復(fù)定位精度高

P78. Z壓電掃描臺滿幅值300μm的閉環(huán)重復(fù)定位精度為 0.05%。

P78壓電掃描臺技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。