外觀形狀

產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖

臺(tái)體采用直驅(qū)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，出力大

一體式超薄結(jié)構(gòu)、高分辨率、閉環(huán)精度高

頻率負(fù)載曲線

壓電陶瓷嵌套式一體結(jié)構(gòu)

N63壓電掃描臺(tái)為XY二維平移掃描臺(tái)，平臺(tái)采用柔性鉸鏈導(dǎo)向壓電陶瓷直驅(qū)的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有無間隙、無后坐力、無摩擦等特點(diǎn)，使其具有超高的分辨率達(dá)0.2nm。

可選擇內(nèi)置高性能傳感器實(shí)現(xiàn)8×8μm范圍內(nèi)超高的定位精度。

N63壓電掃描臺(tái)由于具有超薄的結(jié)構(gòu)，臺(tái)體僅為17mm，中心通孔非常便于與顯微鏡配套安裝。

N63壓電掃描臺(tái)采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)原理，嵌套式機(jī)構(gòu)使其具有非常良好的動(dòng)態(tài)性能。

平穩(wěn)和精確的掃描圓形驅(qū)動(dòng)

精準(zhǔn)圓形驅(qū)動(dòng)控制，可以通過精切定位XY平臺(tái)的每一軸，采用正弦波90°相差輸入，也可以通過PID修正位移進(jìn)行調(diào)整，根據(jù)頻率幅值以及負(fù)載使得驅(qū)動(dòng)控制平穩(wěn)精確。