E73壓電陶瓷控制器是小體積、級聯(lián)式模塊化控制器，該系列控制器由供電/通信模塊與驅動/傳感模塊組合而成。它的設計是專為驅動容性負載，例如壓電疊堆陶瓷、壓電納米定位臺、壓電傾斜鏡、壓電偏擺/旋轉臺等。它的輸出電壓為0~120V，放大器帶寬為1kHz，具有模擬與數(shù)字兩種控制方式，且驅動通道數(shù)在1~30通道內(nèi)自由選擇。E73適用于進行傾斜、俯仰、偏擺/差分驅動等高可靠系統(tǒng)的驅動控制，例如壓電傾斜鏡、壓電變形鏡等。

E73級聯(lián)式壓電控制器的組成

E73.PD供電/通信模塊

E73.PD供電/通信模塊如下圖所示，它為驅動/傳感模塊提供供電電源，同時，它具有RS-422及USB上位機通信接口，RS-422接口位于前面板，USB接口位于后面板，可通過它們進行上位機通信控制，它的處理器為32位單片機，72MHz。通過E73壓電控制器的軟件可進行輸出電壓、輸出位移、波形、設置參數(shù)、采集電壓與位移等控制。

E73.S3DL驅動/傳感模塊

E73.S3DL驅動/傳感模塊的功能是將模擬輸入信號放大、輸出控制電壓信號，并實時采集壓電位移產(chǎn)品的傳感器信號，通過內(nèi)部的算法電路完成伺服控制等。如下圖所示。

可集成模塊數(shù)量及輸出通道數(shù)

E73級聯(lián)式控制器需要具有一個E73.PD供電/通信模塊，而E73.S3DL驅動/傳感模塊的數(shù)量是可根據(jù)客戶的使用要求自由選擇的，至少選擇一個，zui多可選擇10個。

如下圖所示，為E73.S3三通道壓電控制器，由1個E73.PD供電通信模塊及1個E73.S3DL驅動傳感模塊組成。

E73壓電陶瓷控制器的一個E73.PD供電通信模塊可以級聯(lián)zui多達十個E73.S3DL驅動傳感模塊，以達到30個通道的驅動控制。

如下圖所示，為E73.S30三十通道壓電控制器，由1個E73.PD供電通信模塊及10個E73.S3DL驅動傳感模塊組成。

模擬與數(shù)字控制

 E73級聯(lián)式壓電陶瓷控制器，具有兩種通信接口，實現(xiàn)與上位機實時通信，支持上位機軟件二次開發(fā)。該設備同時還具有模擬信號的位置控制輸入端口，便于與其他數(shù)字及模擬控制信號集成。操作模式的變換也可通過外部接口進行控制。上位機通信軟件可設置電壓與位移等參數(shù)。

E73壓電控制器原理圖

E73壓電控制器頻率與負載曲線

E73壓電控制器技術參數(shù)