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压电物镜扫描器的特性说明

时间：2018-5-16 阅读：2424

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压电物镜扫描器的特性说明

　　产品特性

　　外形尺寸：40x48x34.5mm，结构紧凑，易于集成，灵活的螺纹转接器，zui大螺纹接口M28；

　　行程为100um，分辨率为0.5nm；

　　采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统，快速响应；

　　内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；

　　内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。

　　压电物镜扫描器是采用压电陶瓷驱动的纳米级压电物镜位移器，压电物镜位移器内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电物镜位移器内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电位移器具有的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。

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