新品推荐|P66.X2K-B1Z一维高精度真空压电纳米定位台

时间：2024-8-6 阅读：909

P66系列压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源，内部采用直驱或放大机构设计的1~3维运动的压电位移平台，可达毫秒级响应、纳米级定位精度，并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适用于定位应用，如干涉中光路径长度修正，显微或扫描应用中的样品定位等。

1~3维P66系列压电纳米定位台

P66.X2K-B1为P66系列新推出的一款一维真空压电纳米定位台。该产品采用直驱结构，X向最大位移2.4μm，开环分辨率可达0.5nm，承载可达2kg，谐振频率可达12kHz，它尺寸为70mm×85mm×20.5mm，体积非常小巧，定制航空连接器，可在真空环境下使用，芯明天可定制真空工作环境使用产品达2E-11mbar。P66.X2K-B1产品外观如下图所示。

产品特点

一维X向运动

精度可达0.5nm

承载可达2kg

谐振频率可达12kHz

毫秒级响应时间

定制采用航空连接器

真空版本，可选配闭环版本

产品应用

干涉

显微/扫描

光学测量

微加工/精密控制

计量

技术参数

型号	P66.X2K-B1Z
运动自由度	X
驱动控制	1路驱动
标称行程范围（0~120V）	1.9μm
行程范围（0~150V）	2.4μm
开环分辨率	0.5nm
空载谐振频率	12kHz
带载谐振频率	10kHz@20g
阶跃时间	2ms
静电容量	0.58μF
工作温度范围	-20~80℃
承载能力	2kg
材质	不锈钢、铝合金
重量	310g

配套控制器

E53.C1K非常适用于驱动P66.X2K-B1Z压电纳米定位台。它是一款小体积单通道压电控制器，24VDC/1.5A供电，采用模拟或数字控制，通信接口为USB/RS-422/RS-232，带宽10kHz，尺寸为148mm×27.5mm×80mm，体积小巧，易集成。

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