深圳市汐品科技有限公司
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更新時間：2025-04-01 07:57:47瀏覽次數(shù)：48次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)測量表面形貌的新標準隨著材料不斷趨向平坦化、薄膜化及結(jié)構(gòu)的微細化，人們開始要求比傳統(tǒng)的普通SPM（掃描探針顯微鏡）、觸針式粗糙度測量儀及激光顯微鏡等產(chǎn)品更高的測量精度。相比較利用光干涉原理的白光干涉掃描顯微鏡，納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800，使用更方便，測量精度跟高，測量范圍更大。此外，傳統(tǒng)的采用線粗的測量方式仍存在“測量位置導(dǎo)致的結(jié)果偏差"和“掃描方向?qū)е碌慕Y(jié)果偏差"等重大課題。VS1......
隨著材料不斷趨向平坦化、薄膜化及結(jié)構(gòu)的微細化，人們開始要求比傳統(tǒng)的普通SPM（掃描探針顯微鏡）、觸針式粗糙度測量儀及激光顯微鏡等產(chǎn)品更高的測量精度。相比較利用光干涉原理的白光干涉掃描顯微鏡，納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800，使用更方便，測量精度跟高，測量范圍更大。此外，傳統(tǒng)的采用線粗的測量方式仍存在“測量位置導(dǎo)致的結(jié)果偏差"和“掃描方向?qū)е碌慕Y(jié)果偏差"等重大課題。VS1800的解決對策是通過參照國際標準ISO25178規(guī)定的表面形貌評估方法來計算參數(shù)，建立測量表面形貌的新標準，從而受到了各界的關(guān)注。
原子力顯微鏡的納米尺度3D探針測量系統(tǒng)AFM5500M同樣可實現(xiàn)高度的分辨率為0.1nm以下，與此相比，納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800的一大特點在于面內(nèi)方向的測量范圍更大。發(fā)揮兩種測量系統(tǒng)各自的優(yōu)點，根據(jù)需求選擇的測量系統(tǒng)有利于生產(chǎn)率的提高。
高分辨率、大范圍
采用的算法，實現(xiàn)垂直方向分辨率0.01 nm（Phase模式下）。由于無需依賴于物鏡的倍率即可實現(xiàn)較高的垂直方向分辨率，即使是大范圍（測量視野6.4 mm × 6.4 mm）的情況下，也能測量納米尺度的粗糙度、高差。
Wafer研磨表面形貌（表面粗糙度Sa 0.58 nm）
測量數(shù)據(jù)的重現(xiàn)性高
高度測量使用干涉條紋，將Z驅(qū)動產(chǎn)生的影響控制在最小程度，從而實現(xiàn)測量重現(xiàn)性誤差低于0.1%（Phase模式下）。
高速測量
通過以平面捕捉樣品，不對X、Y方向進行掃描，從而實現(xiàn)高速測量，并且由于采用非接觸方式，測量時能夠保證不會給樣品帶來損傷。
無損傷測量
對于以往切割樣品后形成截面來對多層膜層結(jié)構(gòu)及層內(nèi)部進行的異物測量，VS1800能夠以無損傷方式進行。對于透明層結(jié)構(gòu)樣品，利用透鏡的高度坐標以及各界面產(chǎn)生的反射光，通過各光學(xué)界面出現(xiàn)的干涉條紋輸出虛擬截面圖像。
測量簡單
搭載有可直觀性使用的操作畫面，可以當(dāng)場確認處理后的圖像?？梢院唵蔚貙⑻幚砑胺治鰞?nèi)容列表、生成原始分析庫、重復(fù)使用分析庫等。還支持數(shù)據(jù)的批量處理，統(tǒng)一管理多個樣品及分析結(jié)果，減輕繁雜的后處理程序。
此外，導(dǎo)入表面形貌評估方法的國際標準ISO25178的項目，自動按每個樣品選擇合適的參數(shù)。VS1800搭載有可對參數(shù)選擇提供建議的工具，有助于提高管理的精度。
配置靈活
手動XY樣品臺為基本型號Type 1，并提樣品臺電動化逐級提升的Type 2以及Type 3。各型號的升級可通過需求來進行，根據(jù)用途輕松引進系統(tǒng)
| 機型 | Type 1 | Type 2 | Type 3 | |
|---|---|---|---|---|
| Z軸 | 馬達驅(qū)動 | 標配（Z軸移動范圍～10㎜） | ||
| PZT驅(qū)動 | 新增選配（Z軸移動范圍～150 μm） | |||
| XY樣品臺 | 驅(qū)動方式 | 手動 | 電動 | |
| 移動范圍 | ± 50 mm | ± 75 mm | ||
| 樣品臺尺寸 | W205 × D150 mm | W225 × D225 mm | ||
| 測角臺 | 驅(qū)動方式 | 手動 | 電動 | |
| 移動范圍 | ± 2° | ± 5° | ||
| 測量相機 | 標準相機或高像素相機 | |||
| 鏡筒 | × 1或 × 0.5 | |||
| 變焦透鏡 | × 0.7透鏡（新增選配） | |||
| 物鏡 | × 2.5 × 5 × 10 × 20 × 50 × 110 | |||
| 樣品高度 | 標準 | 0～50 mm | ||
| 使用加高配件時 | 50～100 mm | 0～100 mm | ||
| 電腦OS | Windows 10 | |||
| 減震臺（帶支架） | 被動式或主動式 | |||
| 標配 | 新增選配 | |
|---|---|---|
| 測量軟件 | 表面形貌測量 | 大傾斜角測量 |
| 分析軟件 | ISO參數(shù)（參照ISO25178） 輪廓分析、頻帶分解 負荷曲線分析、顆粒分析 熱歐姆轉(zhuǎn)換、線段分析 | 界面分析、層面分析 截面面積、線測量 |
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