麗景電子科技（廣州）有限公司
麗景電子科技（廣州）有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地廣州市
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時間：2025-03-20 08:17:01瀏覽次數(shù)：38次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)光刻機美國實驗室小型光刻機172納米全新加工原理傳統(tǒng)172nm光源的低輸出功率阻礙了該波長在研究和生產(chǎn)中的廣泛應(yīng)用
光刻機美國實驗室小型光刻機
172納米 全新加工原理
傳統(tǒng)1 72 nm光源的低輸出功率阻礙了該波長在研究和生產(chǎn)中的廣泛應(yīng)用。 π2 -CYGNI克服了這一障礙，并揭示了1 72nm的真正能力-全新化學(xué)驅(qū)動方法，反應(yīng)方式和加工技術(shù)。
紫外線不僅僅用于光刻和固化！
全新能量驅(qū)動方式
紫外線弧光燈可提供較高的平均功率。 準(zhǔn)分子紫外線源提供高光子通量。 π2 -CYGNI提供高平均功率和高光子通量- 無需主動或外部冷卻。
高功率和高光子通量的這種組合包裝在便攜的封裝內(nèi)，并引發(fā)了其他光源無法實現(xiàn)的大面積反應(yīng)和過程。
全新技術(shù)燈具
每個π2 -CYGNI的是一個超?。?4毫米）平面微腔放電燈。 與傳統(tǒng)的弧光放電燈相比，廣域發(fā)射提供了卓越的均勻性，同時消除了對復(fù)雜的聚光，準(zhǔn)直和均化光學(xué)器件的需求。
紫外線無泄漏
在π2 -CYGNI之前，產(chǎn)生紫外線通常意味著產(chǎn)生有毒物質(zhì)，低轉(zhuǎn)換效率和高設(shè)備成本。 π2 -CYGNI通過提供一種環(huán)保且節(jié)能的解決方案打破了這些障礙。 π2
-CYGNI的制造和使用過程中不使用有毒材料，在生產(chǎn)過程中使用π- CYGNI可以減少化學(xué)材料和水的消耗。 有效的降低了使用成本，即成本僅是使用其他1 72 nm光源成本的一小部分。
光刻機美國實驗室小型光刻機
輸出強度 > 10 mW/cm2
強度均勻性 < 3%
峰值輸出波長 172 nm
-3dB寬度(FWHM) 8.9 nm
發(fā)光面積 43 mm x 43 mm
預(yù)熱時間（從0到95％） < 2 s
直流輸入電壓 12 V
電源輸入電壓 110-220 V / 50-60 Hz
氮氣/氬氣流速* 0.5-1 SCFM
壽命 > 5000 hours
功耗 < 25 W
傳輸環(huán)境：氮氣，氬氣，UV級熔融石英，高真空
π2-Cygni 系統(tǒng)參數(shù)
π-Cygni消除了對特定光刻膠化學(xué)物質(zhì)的需求
由于光具有高能量（每個光子7 .2eV），現(xiàn)在幾乎可以將任有機聚合物用作光刻膠！π2-CYGNI的1
72nm可實現(xiàn)更高分辨率的成像，使用簡單且廉價的光刻膠可以消除傳統(tǒng)基于DNQ的光刻膠系統(tǒng)產(chǎn)生的堿廢物。
新型，新的可能性
重新定位傳統(tǒng)的光刻膠。 由于曝光機制的性質(zhì)，不再需要光敏劑。 簡而言之，π2-CYGNI分解有機聚合物鏈，直到它們揮發(fā)和蒸發(fā)。
此過程是通用的-幾乎所有有機聚合物現(xiàn)在都可以用作光刻膠，即使是固體形式也是如
此。
干/正/負(fù)處理-由您決定！
由于有機膜質(zhì)量減少，在曝光期間產(chǎn)生圖像，因此消除了對單獨顯影步驟的需要。
由此產(chǎn)生的高對比度足以用于其他過程，從而減少了處理時間并減少了廢物的生。為了滿足更苛刻的應(yīng)用，可以在曝光后對有機聚合物進(jìn)行進(jìn)一步處理以提高分辨率。 但是，與傳統(tǒng)光刻膠不
同，色調(diào)（正或負(fù)）由顯影液而不是敏化劑決定。 除了減少質(zhì)量和蒸發(fā)外，由于鏈長減少，在曝光過程中聚合物中也會發(fā)生交聯(lián)。
的單曝光分辨率
較短的波長 較高的分辨率。 與I 線光刻相比，π2-
CYGNI具有將分辨率提高50%的潛力。
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
儀表網(wǎng) 設(shè)計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
