LJX系列半自動晶圓探針臺 |
型號 | LJX-6 | LJX-8 | LJX-12 |
外形（W*D*H） | 1000mm*1400mm*1400mm | 1100mm*1500mm*1400mm | 1200mm*1600mm*1400mm |
重量 | 約1000KG | 約1150KG | 約1350KG |
電力需求 | AC220V，50~60Hz |
CDA需求 | 0.4~0.8Mpa |
Chuck | 尺寸 | 6″ | 8″ | 12″ |
X-Y軸行程 | 200mm*300mm | 250mm*400mm | 350mm*500mm |
X-Y軸移動解析度 | 0.1μm |
X-Y軸重定位精度 | ≤±1μm |
X-Y移動速度 | ≥70mm/sec |
Z軸行程 | 20mm |
Z軸移動解析度 | 0.1μm |
Z軸重定位精度 | ≤±1μm |
Z軸移動速度 | ≥20mm/sec |
Theta角度行程 | ±10° | Theta角度解析度 | 0.0001° |
樣品固定方式 | Theta方向重復精度：1.75um，多孔真空吸附，獨立分開控制 |
更換樣品方式 | Chuck快速拉出 |
結構 | 三軸超低噪聲設計，鍍金，電學獨立懸空（chuck可作為背電極） |
針座平臺 | 規(guī)格 | O型平臺，最多可放置12個針座（不安裝八角盒時） |
顯微鏡X-Y-Z | X-Y軸行程 | 2″* 2″ |
X-Y軸移動解析度 | 0.1μm |
X-Y軸重定位精度 | ≤±2μm |
X-Y移動速度 | ≥10mm/sec |
Z軸行程 | 5″ |
Z軸移動解析度 | 0.1μm |
Z軸重定位精度 | ≤±1μm |
Z軸移動速度 | ≥10mm/sec |
顯微鏡 | 變倍顯微鏡 | 15：1三檔變倍顯微鏡，可同時顯示低倍和中倍/高倍畫面，便于點針操作 |
相機 | 雙相機（200W或者500W 工業(yè)級數(shù)字相機） |
點針規(guī)格 | 點針精度 | 10μm / 2μm / 0.7μm |
X-Y-Z行程 | 13mm-13mm-13mm |
漏電精度 | 10pA / 100fA / 10fA |
接口形式 | 香蕉頭/同軸 /三軸/ SMA /SHV等 水平調節(jié)范圍≤5°
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固定方式 | 磁力吸附 / 真空吸附 |
溫控組件 | 溫度范圍 | ﹣60℃-200℃（標準） |
溫控穩(wěn)定性 | ±0.1℃ |
溫控分辨率 | 0.01℃ |
升溫時間
（12″卡盤） | ﹣60℃至+25℃≤10分鐘
+25℃至+200℃≤10分鐘 |
降溫時間
（12″卡盤） | ﹢200℃至+25℃≤12分鐘
﹢25℃ 至-60℃≤25分鐘 |
噪聲 | ＜60dB |
加熱方式 | 低壓直流加熱/PID控制 |
制冷方式 | 壓縮機制冷 |
減震 | 減震方式 | 空氣薄膜減震系統(tǒng)，確保2000X放大時畫面不抖動 |
震動抑制 | 在運動過程中以及起始或者停止時能夠極快的速度保證設備的平穩(wěn)≤1S，提高測試效率。 |
系統(tǒng)屏蔽 | EMI屏蔽 | > 20 dB (typical) @ 1 kHz to 20GHz |
光衰減 | ≥ 120 dB |
光譜噪聲基底 | ≤ -150 dBVrms/rtHz |
系統(tǒng)交流噪聲 | ≤ 15 mVp-p (≤ 1 GHz) |
軟件功能 | 自動測量和補償Wafer高度 | 可對儀表的輸入輸出參數(shù)進行管理編程 | 可實時顯示測試結果 |
自動align，校準晶圓校水平 | 可對測試結果進行bin值劃分，判斷器件好壞 | 器件測試應用獨立升級 |
自動測量Die size及生成map圖 | 多系統(tǒng)集成迅速完成，可支持單點或連續(xù)測試 | 強大的數(shù)據(jù)儲存能力以及數(shù)據(jù)處理能力 |
任意wafer map 編輯 | 支持Z，N形等測試 | 自動保存數(shù)據(jù)以及數(shù)據(jù)曲線，且數(shù)據(jù)可遠程訪問 |
差異數(shù)據(jù)的標定Ink mark | 一鍵自動校準RF探針模塊，自動清針功能 | 通訊接口：R232/485/TCP/IP/GPIB |
可測光波長：1260~1620mm | 最小輻射直徑≤10um | 最小模場直徑≤3um |
射頻探針包含GS-GSS兩種類型，定位間距50um~1250um | 可配備四象開爾文探針 |
操作系統(tǒng)與應用分離；操作系統(tǒng)可獨立式升級，應用獨立升級 |
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特點： |
可測試祼片級（單顆）、PCB板級、深腔內部（深腔≥ 8mm) | 具備IV、CV、PI等曲線測試能力 |
多倍率同時顯示光學系統(tǒng) (放大倍率720X） | 具備RF射頻校準功能 |
（-60~200℃）超低噪聲高低溫Chuck | 可升級射頻測試 ，測試頻率超過67GHZ |
功能豐富的測試軟件 | 可升級全自動測試 |
