廣州儀人分析儀器有限公司
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產品型號DTN430C/630C/450C/650C
品 牌
廠商性質其他
所 在 地廣州市
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更新時間:2025-03-15 09:58:25瀏覽次數(shù):38次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應用于固化半導體晶圓等
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應用于固化半導體晶圓等。
特點
工作溫度360℃和500℃。
采用耐熱高性能高效過濾器,可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。
高氣密性的壓力箱構造,氧濃度到達時間短,N2 消耗量極低。
磁密封保持高氣密性,采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。
可實現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調節(jié)。
標準裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收。
安全性
門檢測開關
溫度過升防止器
氧濃度異常安全裝置
氮氣壓力檢測
氮氣流量檢測
冷卻水流量檢測
漏水傳感器
過電流漏電漏電保護開關
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