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泓惟自動(dòng)化系統(tǒng)工程（上海）有限公司


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BROOKS 5850EMH

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠(chǎng)商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間：2024-08-13 07:28:43瀏覽次數(shù)：22次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：201條

所在地區(qū)：上海上海

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

BROOKS 5850EMH

詳細(xì)介紹

5850EMH系列高溫質(zhì)量流量控制計(jì)

頁(yè)面副小標(biāo)題 - 已被驗(yàn)證的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，高溫應(yīng)用中超高純表現(xiàn)
型號(hào) 5850EMH / 5851EMH

來(lái)自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高溫金屬密封質(zhì)量流量控制器結(jié)合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測(cè)量和控制提供了的性能，具有多種選擇，允許的應(yīng)用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器，其提供與流速線(xiàn)性相關(guān)的電氣輸出信號(hào)。該信號(hào)用于指示、記錄和/或控制目的而無(wú)需自動(dòng)歸零電路。

特點(diǎn)

  • 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
  • 寬流速范圍（0.003 - 100 slpm）
  • 高純度 VAR 316L 不銹鋼
  • 無(wú)磨粒
  • 氦泄漏檢查端口
  • 常閉閥（可選常開(kāi)閥）
  • 電致動(dòng)閥復(fù)位
  • 低命令流量斷流
  • TTL 兼容"關(guān)閥"功能

優(yōu)勢(shì)

  • 穩(wěn)定、可靠的產(chǎn)品平臺(tái)
  • 高流量，高達(dá) 100 lpm（N2 當(dāng)量）
  • 全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏
  • 僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修

應(yīng)用

  • 光纖制造——MCVD，OVD，AVD
  • 水汽流量控制


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