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智能潔凈室技術(shù)為IC制造保駕護(hù)航

——訪中電四公司市場(chǎng)管理總經(jīng)理張琪

       隨著市場(chǎng)環(huán)境的優(yōu)化升級(jí)和國(guó)家政策的有利驅(qū)動(dòng)，新能源汽車、智能駕駛、智能終端和5G等對(duì)集成電路的需求激增。而作為典型的高精尖產(chǎn)業(yè)，集成電路的制造對(duì)生產(chǎn)環(huán)境和工藝的要求苛刻。其中，潔凈室的建設(shè)是集成電路制造中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，對(duì)產(chǎn)品的性能具有至關(guān)重要的影響。

       作為我國(guó)專業(yè)從事潔凈室機(jī)電設(shè)備安裝的工程公司之一，中國(guó)電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中電四公司"）可為集成電路制造企業(yè)提供設(shè)計(jì)、采購(gòu)、項(xiàng)目管理、施工、設(shè)施管理、潔凈室配套產(chǎn)品制造等一體化“交鑰匙"工程服務(wù)。

       2021年，在為北京集電控股有限公司（以下簡(jiǎn)稱“北京集電"）建設(shè)集成電路車間潔凈室項(xiàng)目中，中電四公司為滿足客戶對(duì)環(huán)境監(jiān)測(cè)的高精度和高穩(wěn)定性要求，選擇與維薩拉合作，將工業(yè)用溫濕度變送器HMT330、溫濕度變送器HMT370EX和溫濕度變送器HMT120等系列產(chǎn)品，成功應(yīng)用于北京集電廠房潔凈室。自應(yīng)用以來(lái)，相關(guān)儀表和變送器運(yùn)行穩(wěn)定，測(cè)量準(zhǔn)確。

纖毫必顯 打造高標(biāo)準(zhǔn)的潔凈車間

       穿戴嚴(yán)密封閉的特制防護(hù)服和鞋套，經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的車間消殺流程，再通過(guò)數(shù)道相互獨(dú)立隔離的車間閘門(mén)，操作員方能進(jìn)入標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)苛的集成電路廠房潔凈室。不同于一般工業(yè)品，集成電路從單晶硅片制造到IC制造再到IC封裝的重要步驟，均需在潔凈室中完成。無(wú)論是微小的粉塵和碎屑，還是無(wú)形的環(huán)境溫度和濕度等，都將對(duì)制造過(guò)程產(chǎn)生重大影響。

       “集成電路的制造對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高，需要對(duì)溫度、濕度等參數(shù)進(jìn)行準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測(cè)量，從而確保生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定可靠。"中電四公司市場(chǎng)管理總經(jīng)理張琪表示，“2020年，早在北京集電潔凈室項(xiàng)目的投標(biāo)階段，我們知道維薩拉的相關(guān)產(chǎn)品客戶對(duì)溫濕度測(cè)量的苛刻需求。于是，我們決定采用維薩拉產(chǎn)品作為測(cè)量?jī)x表進(jìn)行投標(biāo)，由此也開(kāi)啟了與維薩拉一系列的深度合作。"

       隨著我國(guó)集成電路制造工藝的升級(jí)，其制造過(guò)程需要的潔凈程度也水漲船高，這對(duì)于潔凈室的建設(shè)提出了越來(lái)越高的要求。據(jù)介紹，北京集電所制造的集成電路工藝目前已突破28納米，對(duì)應(yīng)的潔凈室環(huán)境溫度誤差為±0.3°C，濕度誤差為±3。一旦溫度和濕度突破限定誤差，將顯著影響產(chǎn)品的良品率、使用性能和可靠性。

       針對(duì)上述應(yīng)用環(huán)境，維薩拉的多款產(chǎn)品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中，HMT330可在惡劣環(huán)境中和苛刻需求下實(shí)現(xiàn)測(cè)量，還可針對(duì)不同的應(yīng)用環(huán)境實(shí)現(xiàn)定制，從而滿足多樣的客戶需求。HMT120則是一款專為潔凈室等環(huán)境打造的溫濕度變送器，智能測(cè)量探頭可現(xiàn)場(chǎng)更換，輕松實(shí)現(xiàn)測(cè)量的可追溯性。

       值得一提的是具有“本質(zhì)"功能的溫濕度變送器HMT370EX。即使在誤操作或發(fā)生故障的情況下，這款產(chǎn)品也不會(huì)造成事故或設(shè)備損壞。截至目前，該產(chǎn)品已獲得多項(xiàng)本質(zhì)認(rèn)證。除測(cè)量相對(duì)濕度和溫度外，HMT370EX還支持輸出其他濕度參數(shù)，如露點(diǎn)溫度、濕球溫度、濕度、混合比、水濃度、水質(zhì)量分?jǐn)?shù)、水汽壓和焓值。

       “維薩拉產(chǎn)品的測(cè)量精度不僅潔凈室的設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，更大幅壓縮了標(biāo)準(zhǔn)誤差的范圍：將其降低至誤差的三分之一，達(dá)到了濕度±1、溫度±0.1°C，充分保障了潔凈室的可靠運(yùn)行。"張琪補(bǔ)充道，“出于項(xiàng)目整體精度和穩(wěn)定性的考慮，維薩拉的測(cè)量?jī)x表成為我們這個(gè)項(xiàng)目的理想選擇。"

擊破阻隔 跨越重洋的迅疾響應(yīng)

       對(duì)于高精尖的工程建設(shè)而言，時(shí)效的重要性不言而喻。項(xiàng)目所需的各項(xiàng)產(chǎn)品和材料往往有著嚴(yán)格的供貨周期，某項(xiàng)關(guān)鍵材料的缺失，將直接影響項(xiàng)目的進(jìn)度。而全球疫情的起伏不定，給產(chǎn)品的供貨時(shí)效增添了一抹不確定性。

       “國(guó)際物流需提前預(yù)定，疊加疫情影響，一些材料和產(chǎn)品需要提前半年甚至更久預(yù)定。"張琪表示，“然而北京集電的項(xiàng)目周期非常緊張，高質(zhì)量的測(cè)量產(chǎn)品對(duì)項(xiàng)目的完成意義重大，我們一度非常擔(dān)心維薩拉的產(chǎn)品能否及時(shí)到貨。"

       事急從權(quán)。在產(chǎn)品供貨緊張的背景下，維薩拉及其代理商配合，在與中電四公司達(dá)成初步購(gòu)買意向、尚未簽署正式購(gòu)買合同時(shí)，提前鎖定了項(xiàng)目所需的產(chǎn)品，并充分協(xié)調(diào)內(nèi)外部資源，將產(chǎn)品如期送抵客戶手中。

       “北京集電的項(xiàng)目如期竣工，各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)到了預(yù)期水平。截至目前，相關(guān)項(xiàng)目設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定，客戶未反饋任何售后需求。而沒(méi)有售后需求，也是對(duì)我們產(chǎn)品質(zhì)量的高度認(rèn)可。"談及雙方的合作過(guò)程，張琪感觸良多，“為了我們的項(xiàng)目，維薩拉的對(duì)接同事克服了很多困難，給予了支持。這增進(jìn)了我們雙方的信任，讓我們很感動(dòng)，也為后續(xù)的合作奠定了良好的基礎(chǔ)。"

       每年，像潔凈室建設(shè)之類的專業(yè)承包約占中電四公司總工程量的50。特別是在超大面積潔凈室、超凈潔凈室、高空間潔凈室、超精度潔凈室的建設(shè)方面，中電四公司有著豐富的工程經(jīng)驗(yàn)和相關(guān)工程技術(shù)。

       與此同時(shí)，維薩拉也憑借著穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品性能、過(guò)硬的產(chǎn)品和快速響應(yīng)的服務(wù)，贏得了中電四公司的青睞與信任。相信在不遠(yuǎn)的未來(lái)，維薩拉將與中電四公司開(kāi)展更為深入的戰(zhàn)略合作，助力雙方的品牌出現(xiàn)在更多高精尖產(chǎn)品的打造和應(yīng)用場(chǎng)景之中。