TOKYOKEISO東京計(jì)裝集成流量控制器CLFC300系列

TOKYOKEISO東京計(jì)裝集成流量控制器CLFC300系列

集成流量控制器CLFC300系列，分體式流量控制器FC6000

產(chǎn)品介紹

CLFC300系列是集超聲波流量計(jì)檢測(cè)器、控制閥、流量計(jì)算、閥門控制電路為一體的流量控制器。
搭載了可以跟隨目標(biāo)流量的控制功能，用于控制半導(dǎo)體設(shè)備所需的各種液體，如化學(xué)液體的恒定供應(yīng)、DIW流量控制、漿料流體的定值控制. 

特征

改進(jìn)的可控性

改進(jìn)了傳統(tǒng)的運(yùn)算處理，提高了抗氣泡性。
流量測(cè)量的穩(wěn)定性也得到了提高。

改進(jìn)的可控性

在階躍響應(yīng)性能方面，的運(yùn)算電路實(shí)現(xiàn)了極快的響應(yīng)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)設(shè)定值1.5秒以內(nèi)的控制速度。

提供 2 種閥門類型

我們有用于化學(xué)液體和 DIW 的針閥，以及用于漿液的夾管閥。
STA-PURE Style Pcs (STA-PURE) 管已新添加到夾管類型中。
Stapure 管非常耐用，無需定期更換管。

小巧輕便

超聲波流量計(jì)檢測(cè)器、控制閥和電路部分都裝在一個(gè)小機(jī)箱內(nèi)，安裝在設(shè)備內(nèi)部時(shí)可節(jié)省空間。
結(jié)構(gòu)經(jīng)過重新設(shè)計(jì)，使傳統(tǒng)產(chǎn)品更加緊湊。（下降20%）
重量也隨著小型化而減輕。（下降 35%）

減少接線和管道

安裝時(shí)只需連接進(jìn)出液接頭，用多芯電纜進(jìn)行電氣布線即可，無需復(fù)雜的配管和布線。

環(huán)保

減少電流消耗。（實(shí)際值減少 35%）
由符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)的部件構(gòu)成。

高耐腐蝕性

PFA 和 PTFE 是極耐腐蝕的材料，用于接液部件，可應(yīng)用于處理半導(dǎo)體和化學(xué)品的各種行業(yè)。
PVDF 也用于表殼材料。

EMC 合規(guī)性

EN61326-1:2006

主要用途

設(shè)置化學(xué)品和去離子水的供應(yīng)流量

通過將 CLFC300 安裝在由計(jì)量泵和罐加壓控制的各種化學(xué)液體和 DIW 供應(yīng)管線中，可以高精度和穩(wěn)定地控制液體供應(yīng)量。

濃度控制

通過用純水等稀釋藥液來控制恒定濃度時(shí)，在藥液和純水管路中安裝 CLFC300 可以實(shí)現(xiàn)先進(jìn)的濃度控制和濃度管理。

漿液穩(wěn)定供應(yīng)

通過將CLFC300安裝在CMP設(shè)備的各種漿料供應(yīng)管線中，可以穩(wěn)定地以恒定速率供應(yīng)漿料，并且可以防止所用液體的浪費(fèi)。

FC6000是采用高精度超聲波流量計(jì)作為流量傳感器的分體式流量控制系統(tǒng)。
流量控制器FCA6000系列內(nèi)置超聲波流量計(jì)轉(zhuǎn)換器，通過組合流量傳感器和控制閥可以構(gòu)成緊湊的系統(tǒng)。

 ·控制閥：FCV系列
 ·超聲波流量計(jì)檢測(cè)器：UCUF系列
 ·流量控制器：FCA6000系列

流量傳感器和控制閥種類齊全，可實(shí)現(xiàn)廣泛的流量控制。此外，通過將過程連接的流量傳感器/控制閥與測(cè)量/控制部分分開，提高了安全性并且可以進(jìn)行自由布局。
它是包括半導(dǎo)體工藝在內(nèi)的各種化學(xué)品的高級(jí)流量控制的理想選擇。

特征

提高氣泡阻力和流量測(cè)量穩(wěn)定性

當(dāng)液體中含有氣泡時(shí)，超聲波的接收靈敏度會(huì)降低，這使得普通超聲波流量計(jì)的流量測(cè)量變得困難。FCA6000 系列通過使用經(jīng)過驗(yàn)證的原始信號(hào)處理技術(shù)，即使在靈敏度降低的情況下也可以進(jìn)行流量測(cè)量。并且根據(jù)豐富的現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)驗(yàn)，對(duì)異常輸出進(jìn)行判別和排除，大大提高了抗氣泡性能。它還提高了流量測(cè)量的穩(wěn)定性。

提高安全性，可以自由布局

將流量傳感器/控制閥與過程連接的測(cè)量控制部分分開，提高了防止液體泄漏等的安全性，并且可以自由選擇布局。

可進(jìn)行大范圍的流量控制

FCA6000 系列可以處理從最小 2.5-25 mL/min 到 1-10 L/min 的流速。

低功耗

與傳統(tǒng)轉(zhuǎn)換器相比，FCA6000 系列降低了功耗。

CE 標(biāo)志

符合歐盟 EMC、RoHS2 和低電壓指令
（EMC 合規(guī)標(biāo)準(zhǔn)：EN61326-1:2013、EN61326-2-3:2013）

高耐腐蝕性

UCUF系列的接液部分使用具有耐腐蝕性的PFA和PTFE，
可應(yīng)用于處理半導(dǎo)體和化學(xué)品的各種行業(yè)。