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Dimension 掃描頭

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更新時間：2024-08-18 07:36:34瀏覽次數(shù)：121次

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冠乾科技（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

VeecoD3100DimensionHead(AFMScanner)VeecoD3100掃描頭(AFMScanner)掃描范圍：90um*90umDimension3100SPM使用自動化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術

詳細介紹

Veeco D3100 Dimension Head ( AFM Scanner )

Veeco D3100 掃描頭 ( AFM Scanner )

掃描范圍：90um*90um

Dimension 3100 SPM使用自動化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術，可用來測量直徑可達200毫米的半導體硅片、刻蝕掩膜、磁介質、CD/DVD、生物材料、光學材料和其它樣品的表面特性。它的激光點定位系統(tǒng)和無需工具改變掃描技術的能力保證了儀器的適用性、易操作性和高的數(shù)據(jù)處理能力。

儀器名稱：

Dimension3100原子力顯微鏡

型號：

Dimension 3100

生產(chǎn)廠家：

Veeco

主要配置：

– Dimension 3100 掃描頭和Nanoscope IIId控制器
– 樣品尺寸可達到8英寸晶圓，測量區(qū)域可達到6英寸范圍。
– 全面的表面局域電學測量模塊(SCM/CAFM/SSRM，與Multimode共用)

性能指標：

同主要用途

主要用途：

– 表面形貌、成分分辨
    ?   具備接觸、輕敲等多種模式成形貌像，XY分辨率0.25nm，Z噪聲<0.05nm
    ?   摩擦力圖像、定量相位圖像
– 表面局域電場力、磁場力和表面電勢：
?   電場力、磁場力圖像
   ?   表面電勢可分辨表面兩點電勢差值，分辨率10mV
– 載流子濃度、氧化層缺陷、局域導電性
    ?   掃描電容模塊(SCM)可測量dc/dV曲線，表征表面局域載流子濃度、氧化層缺陷等
    ?   導電原子力(CAFM) 可測量I/V曲線，表征表面局域導電性。偏壓范圍1mV-12V，電流范圍10nA-1uA
    ?   掃描擴展電阻(SSRM)可測量表面電阻分布，表征局域導電性和載流子濃度等。偏壓范圍1mV-12V，電流范圍10pA-1mA
– 納米加工
    ?    可編程控制針尖動作和測量過程，對表面進行納米操縱、刻蝕等