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小流量液體流量計(jì)容積式流量計(jì)常見的有圓柱齒輪式和橢圓齒輪式儀表，通過磁性或光電檢出齒輪轉(zhuǎn)數(shù)，常用于測(cè)量石油制品，如動(dòng)力機(jī)耗油量計(jì)量、潤(rùn)滑油流量監(jiān)測(cè)，以及各種添加劑注入量控制等。其優(yōu)點(diǎn)是不受黏度、密度、流速分布影響，可測(cè)量高黏度液體；液體流量計(jì)缺點(diǎn)是有活動(dòng)部件會(huì)產(chǎn)生磨損微粒，壓損相對(duì)較大。齒輪式儀表zui小滿度流量為4L/min，度±0.5%；橢圓齒輪式儀表zui小滿度流量為0.1L/min，度±2%，范圍度低黏度液體為10:1，中等黏度液體為100:1，高黏度液體則更高。
液體流量計(jì)是在上世紀(jì)80年代初半導(dǎo)體制造業(yè)需求的推動(dòng)下得到發(fā)展的，現(xiàn)仍是其主要使用產(chǎn)業(yè)。熱式流量計(jì)是當(dāng)前氣體小流量測(cè)量的主導(dǎo)品種，zui小滿度流量為5mL/min（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)），測(cè)量度±（1~2）%FS。
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